Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Продукты

Керамика из карбида кремния

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и инженерно-техническим услугам, мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.


ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы


КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты


КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, специально разработанные для высокотемпературной термической обработки в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают RTP, Epi-процессы, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.


Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство Типичное значение
Рабочая температура (°С) 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC > 99,96%
Si / Бесплатный контент Si < 0,1%
Объемная плотность 2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость < 16%
Сила сжатия > 600 МПа
Прочность на холодный изгиб 80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб 90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C 4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C 23  Вт/м•К
Модуль упругости 240 ГПа
Устойчивость к термическому удару Очень хорошо


View as  
 
SIC Ceramics Membrane

SIC Ceramics Membrane

Мембраны Veteksemicon SIC являются типом неорганической мембраны и относятся к твердым мембранным материалам в технологии отделения мембраны. Мембраны SIC выпускаются при температуре выше 2000 ℃. Поверхность частиц гладкая и круглая. В опорном слое и каждом слое нет закрытых пор или каналов. Они обычно состоят из трех слоев с различными размерами пор.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Пористая керамическая тарелка SIC

Пористая керамическая тарелка SIC

Наши пористые керамические пластины SIC представляют собой пористые керамические материалы из кремниевого карбида в качестве основного компонента и обрабатываются специальными процессами. Они представляют собой необходимые материалы в производстве полупроводников, химическом осаждении паров (ССЗ) и других процессах.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
SIC Ceramics Pafer Boat

SIC Ceramics Pafer Boat

Vetek Semiconductor является ведущим поставщиком лодок, производителя и фабрики в Китае. Наша лодка SIC Ceramics Pafer является жизненно важным компонентом в процессах передовой обработки пластин, обслуживающей фотоэлектрическую, электронику и полупроводниковую промышленность. С нетерпением жду вашей консультации.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Керамическая пластинка из карбина кремния

Керамическая пластинка из карбина кремния

VeTek Semiconductor специализируется на поставке высококачественных лодочек для пластин, пьедесталов и нестандартных держателей пластин в вертикальной/колонной и горизонтальной конфигурациях для удовлетворения различных требований полупроводникового процесса. Являясь ведущим производителем и поставщиком покрывающих пленок из карбида кремния, наши керамические пластины из карбида кремния пользуются популярностью на европейском и американском рынках благодаря своей высокой экономической эффективности и превосходному качеству, а также широко используются в передовых процессах производства полупроводников. VeTek Semiconductor стремится установить долгосрочные и стабильные отношения сотрудничества с клиентами по всему миру и особенно надеется стать вашим надежным партнером по производству полупроводников в Китае.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Кремниевое карбид (sic) кантилевое весло

Кремниевое карбид (sic) кантилевое весло

Роль карбида из кремниевого карбида (SIC) в полупроводниковой промышленности заключается в поддержке и транспортировке пластин. В высокотемпературных процессах, таких как диффузия и окисление, SIC Constlever Baddle может стабильно нести лодки и пластины без деформации или повреждения из-за высокой температуры, обеспечивая плавный прогресс процесса. Создание диффузии, окисления и других процессов более однородными, имеет решающее значение для улучшения консистенции и выхода обработки пластин. Vetek Semiconductor использует передовые технологии для построения кантилевого весла SIC с силиконовым карбидом высокой чистоты, чтобы гарантировать, что пластики не будут загрязнены. Vetek Semiconductor с нетерпением ждет долгосрочного сотрудничества с вами на кремниевых карбидах (SIC) консольных продуктах.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Кварцевый тигель

Кварцевый тигель

VeTek Semiconductor является ведущим поставщиком и производителем кварцевых тиглей в Китае. Кварцевые тигли, которые мы производим, в основном используются в полупроводниковой и фотоэлектрической областях. Они обладают свойствами чистоты и высокой термостойкости. А наш кварцевый тигель для полупроводников поддерживает производственные процессы вытягивания кремниевых стержней, загрузки и разгрузки поликремниевого сырья в процессе производства полупроводниковых кремниевых пластин и является ключевыми расходными материалами для производства кремниевых пластин. VeTek Semiconductor надеется стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Как профессиональный производитель и поставщик Керамика из карбида кремния в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Керамика из карбида кремния, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
Новости Рекомендации
В чем разница между CVD TAC и спеченным TAC?
В чем разница между CVD TAC и спеченным TAC?Посмотреть больше >>
Что такое керамика из карбида кремния?
Что такое керамика из карбида кремния?Посмотреть больше >>
Исследовательское применение технологии 3D -печати в полупроводниковой промышленности
Исследовательское применение технологии 3D -печати в полупроводниковой промышленностиПосмотреть больше >>
Как выбрать лоток с графитом MoCVD?
Как выбрать лоток с графитом MoCVD?Посмотреть больше >>
Как покрытие SIC улучшает устойчивость к окислению углерода？
Как покрытие SIC улучшает устойчивость к окислению углерода？Посмотреть больше >>
Полупроводниковый процесс: химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
Полупроводниковый процесс: химическое осаждение из паровой фазы (CVD)Посмотреть больше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept