Что такое электростатический патрон (ESC)?

Электростатический патрон (ESC), также известный как электростатический патрон (ESC, e-Chuck), представляет собой приспособление, которое использует принцип электростатической адсорбции для удержания и исправления адсорбированного материала. Это подходит для вакуумной и плазменной среды. Его основная функция- адсорбировать ультра-Чистые тонкие листы (такие как кремниевые пластины) и сохраняют адсорбированный материал в хорошей плоскостности, что также может ингибировать деформацию адсорбированного материала во время процесса, и он может регулировать температуру адсорбата.

Электростатический патрон (ESC) - это особый тип патрона, который использует электростатическую силу для удержания, нажатия и подбора объектов (заготовки). Любой материал несет положительные и отрицательные заряды, которые невидимы для невооруженного глаза. Когда материал помещается на ESC, а биполярное напряжение применяется на внутренние электроды ESC, положительные и отрицательные заряды будут двигаться в материале, чтобы соответствовать полярности внутренних электродов ESC. Это влечение между ESC и материалом называется электростатической силой, а также является фундаментальным принципом, стоящим за нашими патронами.

Преимущества продукта

Он имеет широкий диапазон рабочей температуры (от -50 до 700 ℃)

Эти электростатические всасывающие чашки имеют превосходную прочность, теплопроводность и сопротивление теплового шока, а также могут адаптироваться к широкому температурному диапазону с помощью запатентованного контроля удельного сопротивления керамического объема NGK.

Высокая коррозионная стойкость

Эти электростатические всасывающие чашки имеют превосходную коррозионную устойчивость к галогенным газам.

Обработка низкой части

Обработка с низким уровнем частиц может быть достигнута путем обработки поверхности и специальной очистки

Высокая чистота

Также доступны продукты с чистотой 99,9% или выше.

Функция нагрева

Технология встраивания нагревательных элементов с высокой устойчивой определением может быть интегрирована с функцией нагревателя, а температура пластины может контролироваться в пределах ± 1%.

Функция охлаждения

Эти электростатические всасывающие чашки имеют чрезвычайно высокие характеристики охлаждения, связывая керамические пластины с высокой теплопроводности и охлаждающими пластинами.

Радиочастотный электрод

Обваленные металлические электроды могут одновременно обеспечивать стабильное заживание пластин и генерацию радиочастотной плазмы.

Pараметр

1.В области полупроводникового и электронного производства: в процессах полупроводникового и электронного производства электростатические всасывающие чашки используются для фиксации и обработки тонких и хрупких кремниевых пластин, вафель и т. Д. Его преимущества лежат в сильной силе адсорбции, без механического напряжения и простой работы, которая эффективно повышает эффективность производства и качество продукта.

2. Индустрия стекла и керамики. Во время процессов резки, шлифования и обработки стекла и керамики электростатические всасывающие чашки могут выполнять неразрушающие операции на хрупких материалах, снижая скорость разрыва продукта.

3. Производство точных машин и оптических компонентов: для точных механизмов и оптических компонентов электростатические всасывающие чашки могут обеспечить стабильную адсорбционную силу, предотвращая деформацию или царапины во время обработки.

4. Автоматизированные производственные линии: в автоматических производственных линиях электростатические всасывающие чашки широко используются в позиционировании, обработке и сборке деталей и т. Д., Повышение степени автоматизации и эффективности производственной линии.