VeTek Semiconductor предлагает специальный графит, такой как силиконизированный графит, пиролитический углерод, пористый графит, стеклоуглеродное покрытие, лист графита высокой чистоты и изостатический графит высокой чистоты, которые представляют собой несколько типов специальных графитовых материалов, которые имеют общие характеристики и области применения. Вот краткое описание их функций и применений:
● Силиконизированный графит: Силиконизированный графит представляет собой специальный графитовый материал, полученный путем соединения графита с соединениями кремния. Он демонстрирует превосходную стойкость к высоким температурам, коррозионную стойкость и механические свойства. Силиконизированный графит обычно используется в высокотемпературных печах, коррозионностойком оборудовании и производстве полупроводников.
● Пиролитический углерод: Пиролитический углерод — это углеродный материал, полученный путем высокотемпературного пиролиза органических веществ, таких как уголь и нефтяной кокс. Он может похвастаться высокой чистотой, плотностью, прочностью и низкой электропроводностью. Пиролитический углерод находит широкое применение в качестве жаропрочных материалов и конструкционных компонентов в полупроводниковой, химической, аэрокосмической и других областях.
● Пористый графит. Пористый графит представляет собой особый графитовый материал с микро- и мезопористой структурой. Он обладает большой удельной поверхностью и пористостью, обеспечивая отличные адсорбционные и теплопроводные свойства. Пористый графит обычно используется при разделении газов, выращивании кристаллов SiC и других приложениях.
● Стеклоуглеродное покрытие: Стеклоуглеродное покрытие представляет собой технику нанесения стеклоуглеродного материала в качестве поверхностного покрытия. Он обладает превосходной коррозионной стойкостью, износостойкостью и электропроводностью. Стеклоуглеродные покрытия часто используются в коррозионно-стойких покрытиях, материалах для покрытия электронно-лучевых пушек и в других областях полупроводников.
● Изостатический графит высокой чистоты. Изостатический графит высокой чистоты представляет собой специальный графитовый материал высокой чистоты, полученный в процессе высокотемпературного изостатического прессования. Он отличается однородной микроструктурой, высокой плотностью и низким содержанием кислорода. Изостатический графит высокой чистоты широко используется в прецизионной механической обработке, материалах для рассеивания тепла, производстве полупроводников, фотоэлектрической, аэрокосмической и других отраслях промышленности.
Графитовая бумага высокой чистоты — это специализированный материал, используемый в полупроводниковой промышленности. Благодаря своей исключительной тепло- и электропроводности он играет жизненно важную роль в таких применениях, как радиаторы, материалы термоинтерфейса и электроизоляция. Легкий и гибкий характер графитовой бумаги высокой чистоты делает ее идеальной для улучшения терморегулирования и оптимизации производительности полупроводниковых устройств. Его высокая чистота (содержание примесей ниже 5 частей на миллион) обеспечивает надежную и эффективную работу, что делает его ценным компонентом при производстве и сборке полупроводников.
Эти специальные графитовые материалы обладают уникальными свойствами и преимуществами применения в соответствующих областях. Они играют решающую роль в высокотемпературных средах, коррозионной стойкости, электронике, энергетике, химическом машиностроении, аэрокосмической и полупроводниковой промышленности, оказывая существенную поддержку достижениям и инновациям в этих секторах.
Ключевые особенности
● Варианты сверхвысокой чистоты с уровнем примесей ниже 5 частей на миллион для критически важных полупроводниковых процессов.
● Превосходная высокотемпературная стабильность и стойкость к термическому удару, подходит для выращивания кристаллов SiC PVT и в вакуумных печах.
● Разнообразие форм материалов: изостатический графит, пористый графит, силиконизированный графит, покрытие PyC, стеклоуглеродное покрытие и листы гибкого графита.
● Превосходная коррозионная стойкость, износостойкость и контролируемая пористость для управления газом и применения в тепловых полях.
● Собственные возможности механической обработки и нанесения покрытий (SiC/TaC/PyC), позволяющие создавать универсальные индивидуальные решения.
● Совместимость с основными платформами оборудования для производства полупроводников и выращивания кристаллов.
Технические характеристики продукта
| Параметр покрытия из пиролитического углерода (PyC) |
| Элемент |
Единица |
ценить |
| Кристаллическая структура |
-
|
Шестиугольный |
| Выравнивание |
-
|
Ориентирован или неориентирован по направлению 001. |
| Объемная плотность |
г/см³ |
~2,24 |
| Микроструктура |
-
|
Поликристаллический/многослойный графен |
| Твердость |
ГПа |
1.1
|
| Модуль упругости |
ГПа |
10
|
| Типичная толщина |
мкм |
30-100 |
| Шероховатость поверхности |
мкм |
1.5
|
| Чистота продукта |
ppm |
≤5 частей на миллион |
Приложения
Чтобы удовлетворить разнообразные потребности полупроводниковых и высокотемпературных процессов, VeTek предлагает целевую продукцию из специального графита. В следующей таблице они классифицированы по основным областям применения с указанием типичных материалов/компонентов и применимых процессов:
| Область применения |
Типичные материалы/продукты |
Описание приложения |
| Выращивание кристаллов SiC (PVT) |
Пористый графит, Графитовое кольцо с покрытием PyC, изостатический графитовый тигель, направляющее кольцо
|
Используется в термических полях для выращивания кристаллов SiC PVT; обеспечивает контролируемый перенос паров, высокую чистоту и термическую стабильность до >2200°C, снижая загрязнение частицами. |
| Полупроводниковая эпитаксия / MOCVD |
обогреватели, PyC/детали с покрытием из стеклоуглерода
|
Высокочистые термополевые компоненты для эпитаксии Si/SiC/GaN и систем MOCVD; отличная однородность температуры и химическая инертность. |
| Высокотемпературные печи и вакуум |
Графитовые нагреватели, Трехлепестковый графитовый тигель
|
Коррозионностойкие и термически стабильные материалы для вакуумных печей, нагревателей горячей зоны и высокотемпературного технологического оборудования. |
| Управление температурным режимом |
Графитовый войлок высокой чистоты, Графитовая бумага
|
Гибкие листы с высокой тепло/электропроводностью для радиаторов, материалов термоинтерфейса и электроизоляции в полупроводниковых устройствах (примеси <5 ppm). |
| Защита от коррозии/износа |
Стеклоуглеродное покрытие, силиконизированный графит |
Поверхностные покрытия и сыпучие материалы, обеспечивающие исключительную коррозионную стойкость, износостойкость и электропроводность для электронно-лучевых пушек и суровых условий. |
| Газоразделение и адсорбция |
Пористый графит
|
Микро/мезопористая структура с большой удельной поверхностью для разделения газов, фильтрации и применения в контролируемой атмосфере. |
Более подробную информацию о решениях по согласованию продуктов и процессов можно найти на страницах соответствующих подкатегорий:Пористый графит, Изотропный графит, Пиролитическое углеродное покрытиеи т. д.
Как профессиональный производитель и поставщик специального графита в Китае, мы имеем собственный завод. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить современный и долговечный специальный графит, произведенный в Китае, вы можетеоставьте нам сообщение.
