Пористый SIC

Vetek Semiconductor является ведущим производителем пористой керамики SIC для полупроводниковой промышленности. Пропустил ISO9001, Vetek Semiconductor имеет хороший контроль над качеством. Vetek Semiconductor всегда стремился стать новатором и лидером в пористой керамической промышленности SIC.

Пористый керамический диск SIC

Пористая керамика SIC - это керамический материал, который запускается при высоких температурах и имеют большое количество взаимосвязанных или закрытых пор внутри. Он также известен как микропористая вакуумная всасывающая чашка с размерами пор от 2 до 100 мкм.

Пористая SIC Ceramics широко использовалась в металлургии, химической промышленности, защите окружающей среды, биологии, полупроводнике и других областях. Пористая SIC Ceramics может быть приготовлена ​​методом пенообразования, методом Sol Gel, методом литья ленты, методом сплошного спекания и методом пропиточного пиролиза.

Подготовка пористой керамики SIC с помощью метода спекания

Свойства пористой кремниевой карбидной керамики, приготовленной различными методами в зависимости от пористости

Пористая керамика SIC Ceramics Cups в полупроводниковой пластинке.

Пористая керамика SIC Vetek Semiconductor играет роль зажима и переноски пластин в производстве полупроводников. Они плотные и однородные, высокие силы, хорошие в воздухопроницаемости и равномерные в адсорбции.

Они эффективно решают многие сложные проблемы, такие как вдали в пластин, и электростатическое расщепление чипов, и помогают достичь обработки чрезвычайно высококачественных пластин.

Рабочая диаграмма пористой керамики SIC:

Принцип работы пористой керамики SIC: кремниевая пластина фиксируется принципом вакуумной адсорбции. Во время обработки небольшие отверстия на пористой керамике SIC используются для извлечения воздуха между кремниевой пластиной и керамической поверхностью, так что кремниевая пластина и керамическая поверхность находятся при низком давлении, тем самым фиксируя кремниевую пластину.

После обработки вода плазмы вытекает из отверстий, чтобы предотвратить прилипку кремниевой пластины к керамической поверхности, и в то же время кремниевая пластина и керамическая поверхность очищаются.

Микроструктура пористой керамики SIC

Выделите преимущества и функции:

● Высокая температурная сопротивление

● Устойчивость к износу

● Химическая устойчивость

● Высокая механическая прочность

● Легко регенерировать

● Отличная устойчивость к тепловому шоку

элемент	единица	Пористая керамика SIC
Диаметр пор	один	10 ~ 30
Плотность	G / CM3	1,2 ~ 1,3
Поверхностная ругаХанс	один	2,5 ~ 3
Значение поглощения воздуха	КПА	-45
Прочность на гибкость	МПА	30
Диэлектрическая постоянная	1 МГц	33
Теплопроводность	W/(m · k)	60 ~ 70

Есть несколько высоких требований к пористой керамике SIC:

1. Сильная вакуумная адсорбция

2. Плодость очень важна, иначе во время операции будут проблемы

3. Нет деформации и никаких примесей металлов

Следовательно, ценность поглощения воздуха пористой SIC Ceramics Vetek Seic достигает -45 кПа. В то же время они смягчаются на уровне 1200 ℃ в течение 1,5 часов, прежде чем покинуть фабрику, чтобы удалить примеси и упаковываются в вакуумные мешки.

Пористая керамика SIC широко используется в технологии обработки пластин, передачи и других ссылок. Они добились больших достижений в сфере связей, нарезания, монтажа, полировки и других связей.