Каково конкретное применение деталей, покрытых TAC, в поле полупроводников?

Физические свойства карбида тантала (TAC) покрытия

Применение карбида тантала (TAC) в поле полупроводника

1. Эпитаксиальные компоненты реактора роста

Покрытие TAC широко используется в компонентах реактора химического отложения пара (CVD) эпитаксиального и кремниевого карбида (SIC), включая эпитаксиальную и кремниевую карбид (SIC), включая эпитаксиальные (SIC).пластины, спутниковые блюда, сопла и датчики. Эти компоненты требуют чрезвычайно высокой долговечности и стабильности в высокой температуре и коррозионной среде. Покрытие TAC может эффективно продлить срок службы и повысить урожайность.

2. Компонент монокристалля роста

В процессе роста монокристаллов таких материалов, как SIC, GAN и алюминиевый нитрид (AIN),Покрытие TACприменяется к ключевым компонентам, таким как крестики, держатели кристаллов семян, направляющие кольца и фильтры. Графитовые материалы с покрытием TAC могут уменьшить миграцию примесей, улучшить качество кристаллов и снизить плотность дефектов.

3. Промышленные компоненты высокой температуры

Покрытие TAC может использоваться в высокотемпературных промышленных приложениях, таких как резистивные элементы нагревания, форсунки для инъекций, экранирующие кольца и пайковые приспособления. Эти компоненты должны поддерживать хорошую производительность в высокотемпературных средах, а термостойкость TAC и сопротивление коррозии делают его идеальным выбором.

4. Нагреватели в системах MOCVD

Графитовые нагреватели с таком были успешно введены в системах металлургарного химического осаждения пара (MOCVD). По сравнению с традиционными нагревателями, покрытых PBN, нагреватели TAC могут обеспечить лучшую эффективность и однородность, снизить энергопотребление и снизить излучательную способность, тем самым повышая целостность.

5. Перевозчики пластин

Условные носители, покрытые TAC, играют важную роль в подготовке полупроводниковых материалов третьего поколения, таких как SIC, AIN и GAN. Исследования показали, что скорость коррозииTAC CoatingsВ высокотемпературном аммиаке и водородном среде намного ниже, чем вSIC покрытия, что заставляет его демонстрировать лучшую стабильность и долговечность в долгосрочном использовании.