Как покрытие TAC улучшает срок службы графитовых компонентов? - Vetek Semiconductor

Cvd Tantalum Carbide Coatingпроизводится путем осаждения пары карбида тантала (TAC) на поверхности подложки с высокой чистотой графитом с использованием проприетарного химического осаждения пары Vetek (CVD).

Покрытия из карбида тантала (TaC) значительно увеличивают срок службыграфитовые деталичерез множество механизмов, особенно в высокотемпературных и агрессивных средах, таких как производство полупроводников и выращивание кристаллов. 

Вот конкретные причины, почемуTAC Coatingsповысить долговечность графитовых деталей:

● Повышенная высокотемпературная стойкость

Чрезвычайно высокая термическая стабильность: покрытия TaC способны оставаться стабильными при чрезвычайно высоких температурах, превышающих 2000°C, и могут эффективно работать даже при 2200°C. Такая высокая температурная устойчивость позволяет покрытию противостоять эрозии расплавленных металлов и химических газов во время производства полупроводников, тем самым продлевая срок службы графитовых деталей.

● Отличная коррозионная стойкость

Устойчивость к химической эрозии: покрытия TaC обладают высокой устойчивостью к агрессивным газам, таким как водород, аммиак и пары кремния, что может эффективно предотвратить коррозию графитовой подложки этими газами и снизить риск повреждения графитовых деталей в суровых условиях. Это означает, что в процессе роста кристаллов покрытие может препятствовать миграции примесей и улучшать качество и выход кристаллов.

●  Улучшенные механические свойства.

Хорошая адгезия и устойчивость к термическому удару: покрытия TaC обладают прочной адгезией к графитовой подложке, что гарантирует, что покрытие не будет отслаиваться или расслаиваться во время высокотемпературных операций. Кроме того, его превосходная термостойкость позволяет выдерживать быстрые изменения температуры без растрескивания и отслаивания, что еще больше продлевает срок службы графитовых деталей.

● уменьшить загрязнение примесей

Сверхвысокая чистота: покрытия TaC имеют чрезвычайно низкое содержание примесей, что помогает уменьшить проблемы загрязнения, которые могут возникнуть в условиях высоких температур. Предотвращая миграцию нежелательных примесей в эпитаксиальный слой, покрытия TaC значительно улучшают чистоту и качество процесса выращивания кристаллов.

● Оптимизировать управление температурным режимом.

Повышение теплопроводности и удельного сопротивления: покрытия TAC имеют относительно низкую теплопроводность и удельное сопротивление, что позволяет применять нагреватели и другие компоненты теплового управления для повышения энергоэффективности и снижения потери энергии. Эта функция не только повышает операционную эффективность, но и снижает усталость материала и повреждение, вызванное перегревом.