Новости отрасли

Узнайте, как графитовые токоприемники с CVD-покрытием SiC улучшают эпитаксиальный рост за счет улучшения температурной однородности, уменьшения загрязнения и увеличения срока службы компонентов в производстве SiC, GaN, светодиодов и кремниевых полупроводников.

Узнайте, как графитовые нагреватели с покрытием TaC повышают однородность температуры, снижают энергопотребление и продлевают срок службы при эпитаксии GaN MOCVD по сравнению с обычными нагревателями с покрытием PBN.

Узнайте, как покрытие CVD TaC улучшает рост кристаллов SiC в PVT-печах за счет снижения загрязнения углеродом, защиты графитовых компонентов, увеличения срока службы и улучшения качества кристаллов для передового производства полупроводников.