Новости отрасли

Введение CO₂ в воду для нарезки кубиками во время резки пластин является эффективной технологической мерой для подавления накопления статического заряда и снижения риска загрязнения, тем самым повышая производительность нарезки кубиками и долгосрочную надежность стружки.

Кремниевые пластины являются основой интегральных схем и полупроводниковых приборов. У них есть интересная особенность — плоские края или крошечные бороздки по бокам. Это не дефект, а намеренно разработанный функциональный маркер. Фактически, эта насечка служит ориентиром направления и идентификационным маркером на протяжении всего производственного процесса.

Химико-механическая полировка (ХМП) удаляет излишки материала и поверхностные дефекты за счет комбинированного действия химических реакций и механического истирания. Это ключевой процесс для достижения глобальной планаризации поверхности пластины, который незаменим для многослойных медных межсоединений и диэлектрических структур с низким коэффициентом k. В практическом производстве

Шлам для полировки кремниевых пластин CMP (химико-механическая планаризация) является важнейшим компонентом в процессе производства полупроводников. Он играет ключевую роль в обеспечении полировки кремниевых пластин, используемых для создания интегральных схем (ИС) и микрочипов, до точного уровня гладкости, необходимого для следующих этапов производства.

В производстве полупроводников химико-механическая планаризация (ХМП) играет жизненно важную роль. Процесс CMP сочетает в себе химические и механические воздействия для сглаживания поверхности кремниевых пластин, обеспечивая единообразную основу для последующих этапов, таких как осаждение тонких пленок и травление. Полировальная суспензия CMP, являющаяся основным компонентом этого процесса, существенно влияет на эффективность полировки, качество поверхности и конечные характеристики продукта.

Полировальная суспензия Wafer CMP представляет собой специально разработанный жидкий материал, используемый в процессе CMP при производстве полупроводников. Он состоит из воды, химических травителей, абразивов и поверхностно-активных веществ, что позволяет проводить как химическое травление, так и механическую полировку.