Новости отрасли

В мире с высокими ставками изготовления полупроводников, точность и стабильность-это все, и именно здесь вступает электростатический патрон (ESC). Гораздо больше, чем просто инструмент для удержания, ESC использует электростатические силы для надежного зажима во время критических процессов, таких как травление, осаждение и ионная имплантация. Но как это на самом деле работает? Почему это превосходит традиционное механическое заживание? И какую роль он играет в достижении точности наноразмерных и эффективности пропускной способности? Добро пожаловать в чтение.

Принцип Dechuck электростатического патрона является ключевой частью его рабочего процесса, который включает в себя электростатическую элиминацию силы и механизмы высвобождения пластины.

Стеклянный углерод-это нерафизированный углерод, который сочетает в себе свойства стекла и керамики. Он обладает многими свойствами, такими как высокая температурная сопротивление, коррозионная устойчивость, хорошая электропроводность и т. Д.

В производстве полупроводников необходимы различные виды продуктов с полупроводниковыми керамическими компонентами. Эти продукты используются в разных сценариях производства из -за их различных характеристик, чтобы играть их соответствующие функции. Они являются незаменимыми продуктами в индустрии полупроводниковой обработки.

Карбид тантала (TAC)-это высокопроизводительный керамический материал, известный своей чрезвычайно высокой твердостью, высокой темой плавления и превосходной химической стабильностью. Он широко используется в полупроводнике, аэрокосмической и других отраслях, требующих экстремального тепла, износа и коррозионной стойкости. Эта статья подробно проанализирует структуру, физические свойства и конкретное использование готового продукта в производстве полупроводников.

Пористая керамическая пластина SIC является одним из основных материалов в области производства полупроводников. Благодаря своей уникальной структуре и превосходным физическим свойствам пористый керамический диск SIC стал незаменимым ключевым компонентом в высокой температуре и коррозийной среде. В этой статье мы будем глубоко проанализировать его физические свойства, сценарии применения и преимущества отбора.