Новости отрасли

Углубленный анализ причин пожелтения кромок и отслаивания карбидокремниевого покрытия на графитовых токоприемниках MOCVD-эпитаксии. VeTek устранил микронапряжения за счет точного контроля начальной скорости CVD-осаждения и поля течения, увеличив выход покрытия с 50% до 90% и продлив срок службы деталей из графита высокой чистоты.

Учитывая разницу толщины от кармана к карману в 1,4% в многокарманных кремниевых эпитаксионно-графитовых суцепторах, компания VeTek Semi улучшила плоскостность суцептора до <0,08 мм и сократила разброс до 0,69% за счет CVD-моделирования поля течения и сверхточного покрытия SiC, что увеличило выход пластин.

Узнайте, как компания Vetek устранила радиальное растрескивание в крупногабаритных графитовых токоприемниках с MOCVD-покрытием SiC. Модернизация структурного буфера напряжений и согласование CTE увеличили срок службы более чем на 300%.