Новости отрасли

Узнайте, как покрытие CVD SiC используется в полупроводниковых процессах, включая его структуру, эксплуатационные характеристики и типичные области применения, а также его актуальность для высокотемпературных применений.

Стоит ли вкладывать средства в CVD Solid SiC? Сравните окупаемость монолитного SiC и традиционных графитовых покрытий. Узнайте, как превосходная стойкость к плазме и расширенный MTBC приводят к снижению процента брака пластин и увеличению времени безотказной работы оборудования для 12-дюймовых линий HVM.

Материалы высокой чистоты необходимы для производства полупроводников. Эти процессы включают в себя сильную жару и агрессивные химические вещества. CVD-SiC (карбид кремния, полученный методом химического осаждения из паровой фазы) обеспечивает необходимую стабильность и прочность. В настоящее время он является основным выбором для деталей современного оборудования из-за его высокой чистоты и плотности.