Новости отрасли

В постоянно развивающемся мире бытовой и кухонной техники один продукт недавно привлек значительное внимание благодаря своим инновациям и практическому применению — кварцевый термос.

Кварцевые продукты широко используются в процессе производства полупроводников из-за их высокой чистоты, высокотемпературной устойчивости и сильной химической стабильности.

Кремниевые карбид (SIC) Печи роста кристаллов играют жизненно важную роль в производстве высокопроизводительных пластин SIC для полупроводниковых устройств следующего поколения. Тем не менее, процесс растущего высококачественного SIC-кристаллов представляет собой значительные проблемы. От управления экстремальными тепловыми градиентами до снижения кристаллических дефектов, обеспечения равномерного роста и контроля затрат на производство, каждый шаг требует передовых инженерных решений. В этой статье будут анализироваться технические проблемы печи с кристаллом SIC с разных точек зрения.

Smart Cut-это расширенный процесс производства полупроводников, основанный на ионной имплантации и укладке пластин, специально предназначенным для производства ультратонких и очень равномерных 3C-SIC (кубический кремниевый карбид). Он может перенести ультратонкие кристаллические материалы от одного субстрата в другой, тем самым нарушая первоначальные физические ограничения и изменяя всю субстратную промышленность.

При приготовлении высококачественных и высокодоходных карбид-субстратов ядро ​​требует точного контроля температуры производства с помощью хороших тепловых полевых материалов. В настоящее время используемые в основном наборы для термических полевых поля представляют собой графитовые компоненты с высокой точностью, компоненты которых функциям для нагрева расплавленного углеродного порошка и кремниевого порошка, а также для поддержания тепла.

Когда вы увидите полупроводники третьего поколения, вы наверняка задаетесь вопросом, какими были первые и вторые поколения. «Поколение» здесь классифицируется на основе материалов, используемых в производстве полупроводников.

Электростатический патрон (ESC), также известный как электростатический патрон (ESC, e-Chuck), представляет собой приспособление, которое использует принцип электростатической адсорбции для удержания и исправления адсорбированного материала. Это подходит для вакуумной и плазменной среды.

SIC WAFERERSERS, как ключевые расходные материалы в цепочке полупроводниковой промышленности третьего поколения, их технические характеристики напрямую влияют на урожайность эпитаксиального роста и производства устройств. В связи с растущим спросом на высоковольтные и высокотемпературные устройства в таких отраслях, как базовые станции 5G и новые энергетические транспортные средства, исследование и применение перевозчиков SIC Wafer в настоящее время сталкиваются с значительными возможностями развития.

Керамика оксида глинозья - это «рабочая лошадка» для производства керамических компонентов. Они демонстрируют превосходные механические свойства, сверхвысокие точки плавления и твердость, коррозионную стойкость, сильную химическую стабильность, высокое удельное сопротивление и верхнюю электрическую изоляцию. Они обычно используются для изготовления полировки, вакуумных патронов, керамических рук и подобных частей.

Полупроводниковые материалы могут быть классифицированы на три поколения в хронологическом порядке. Первое поколение состоит из общих элементарных материалов, таких как германия и кремний, которые характеризуются удобным переключением и обычно используются в интегрированных цепях. Соединенные полупроводники второго поколения, такие как арсенид галлия и фосфид индий, в основном используются в люминесцентных и коммуникационных материалах.

Кварцевые устройства играют решающую роль в производстве солнечных батарей, предлагая исключительную теплостойкость, химическую чистоту и структурную стабильность, необходимую в высокотемпературных процессах. От кварцевых диффузионных трубок и тигенных до кварцевых лодок и компонентов печи, эти материалы с высокой чистовой прочткой необходимы для достижения оптимальной эффективности диффузии, сердечно-сосудистых шагов и стадий влажного травления.

Покрытие TAC почти полностью устраняет феномен инкапсуляции углерода, выделяя прямой контакт между графитом и расплавлением SIC, значительно снижая плотность дефектов микротрубков

SIC Ceramic - это керамический материал, продуцируемый реакцией элементов кремния (Si) и углерода (C), которые имеют чрезвычайно высокую твердость, теплостойкость и химическую стабильность

В мире с высокими ставками изготовления полупроводников, точность и стабильность-это все, и именно здесь вступает электростатический патрон (ESC). Гораздо больше, чем просто инструмент для удержания, ESC использует электростатические силы для надежного зажима во время критических процессов, таких как травление, осаждение и ионная имплантация. Но как это на самом деле работает? Почему это превосходит традиционное механическое заживание? И какую роль он играет в достижении точности наноразмерных и эффективности пропускной способности? Добро пожаловать в чтение.

Принцип Dechuck электростатического патрона является ключевой частью его рабочего процесса, который включает в себя электростатическую элиминацию силы и механизмы высвобождения пластины.

Стеклянный углерод-это нерафизированный углерод, который сочетает в себе свойства стекла и керамики. Он обладает многими свойствами, такими как высокая температурная сопротивление, коррозионная устойчивость, хорошая электропроводность и т. Д.