VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.
Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.
Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:
Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.
Ключевые особенности:
●Температурная стабильность
●Сверхвысокая чистота
●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si
●Устойчивость к тепловому материалу
●Сильная адгезия к графиту
●Конформное покрытие покрытия
● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)
Приложения:
●Вафельный носитель
● Датчик индукционного нагрева.
● Резистивный нагревательный элемент
●Спутниковый диск
●Душевая лейка
●Направляющее кольцо
●Светодиодный эпиприемник
●Инъекционное сопло
●Маскирующее кольцо
● Тепловой экран
Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:
Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:
|
Физические свойства покрытия TaC
|
|
Плотность
|
14,3 (г/см³)
|
|
Удельная излучательная способность
|
0.3
|
|
Коэффициент теплового расширения
|
6,3 10-6/К
|
|
Твердость (ГК)
|
2000 Гонконг
|
|
Сопротивление
|
1×10-5Ом*см
|
|
Термическая стабильность
|
<2500℃
|
|
Изменение размера графита
|
-10~-20ум
|
|
Толщина покрытия
|
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)
|
Покрытие TaC, данные EDX：
Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:
|
Элемент
|
Атомный процент
|
|
|
Пт. 1
|
Пт. 2
|
Пт. 3
|
Средний
|
|
С К
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
Их
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
