Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

Графитовое кольцо с CVD-покрытием TaC

Графитовое кольцо с CVD-покрытием TaC от Veteksemicon разработано для удовлетворения экстремальных требований обработки полупроводниковых пластин. Используя технологию химического осаждения из паровой фазы (CVD), плотное и однородное покрытие из карбида тантала (TaC) наносится на графитовые подложки высокой чистоты, обеспечивая исключительную твердость, износостойкость и химическую инертность. В производстве полупроводников графитовое кольцо с покрытием CVD TaC широко используется в камерах MOCVD, травления, диффузии и эпитаксиального выращивания, служа ключевым структурным или герметизирующим компонентом для носителей пластин, токоприемников и экранирующих сборок. Ждём вашей дальнейшей консультации.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Пористое графитовое кольцо с покрытием TaC

Пористое графитовое кольцо с покрытием TaC производства VETEK использует легкую пористую графитовую подложку и покрыто покрытием из карбида тантала высокой чистоты, обладающим превосходной устойчивостью к высоким температурам, агрессивным газам и плазменной эрозии.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Кольцо с графитом с покрытием TAC

Наши кольца с графитом, покрытым TAC, представляют собой точные компоненты ядра для производства полупроводниковых пластин. Они оснащены графитовой подложкой с высокой чистотой, покрытой износостойким и химически инертным карбидом тантала (TAC). Предназначенные для требовательных процессов, таких как эпитаксиальное осаждение и травление в плазме, они обеспечивают точное выравнивание и стабильность пластики, эффективно контролировать загрязнение и значительно продлевают срок службы компонентов. Veteksemicon предлагает услуги настройки для идеального соответствия вашего оборудования и требований к процессу.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Кольцо с покрытием TAC для роста монокристаллов SIC SIC

Как один из ведущих поставщиков продуктов TAC в Китае, Vetek Semiconductor может предоставить клиентам высококачественные индивидуальные детали TAC. Кольцо с покрытием TAC для роста монокристалля SIC SIC является одним из самых выдающихся и зрелых продуктов Vetek Semiconductor. Он играет важную роль в росте PVT процесса кристаллов SIC и может помочь клиентам выращивать высококачественные кристаллы SIC. С нетерпением жду вашего запроса.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Cvd TAC покрыт трехлетние направляющее кольцо

Vetek Semiconductor пережил многолетнее технологическое развитие и освоил ведущую технологию процесса CVD TAC. Трехлетние кольцо с CVD TAC, покрытое тремя, является одним из наиболее зрелых продуктов CVD TAC в полупроводнике Vetek и является важным компонентом для приготовления кристаллов SIC с помощью метода PVT. С помощью полупроводника Vetek, я считаю, что ваше производство кристаллов SIC будет более плавной и эффективной.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Карбисное кольцо карбида тантала

Кольцо для карбида карбида Vetek Semiconductor Tantalum является незаменимым компонентом в полупроводниковой промышленности, в частности, в травлении пластин SIC. Его сочетание графитового база и покрытия TAC обеспечивает превосходную производительность в высокотемпературной и химически агрессивной среде. Благодаря повышенной термической стабильности, коррозионной стойкости и механической прочности, кольцо с карбидом тантала помогает производителям полупроводников достигать точности, надежности и высококачественных результатов в их производственных процессах.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-15988690905
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Цзыян, округ Уи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Графитовое кольцо с CVD-покрытием TaC

Пористое графитовое кольцо с покрытием TaC

Кольцо с графитом с покрытием TAC

Кольцо с покрытием TAC для роста монокристаллов SIC SIC

Cvd TAC покрыт трехлетние направляющее кольцо

Карбисное кольцо карбида тантала

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес