Кольцо с графитом с покрытием TAC

Кольцо с графитом с карбином TAC (карбид с карбидом тантала) является критическим компонентом, используемым в производстве полупроводников, в частности, в таких процессах, как эпитаксиальное осаждение и травление в плазме. Эти кольца предназначены для надежного удержания и расположения кремниевых пластин, обеспечивая точное выравнивание и стабильность во время высокотемпературных и суровых химических сред. Наши гидные кольца разработаны для удовлетворения строгих требований современного полупроводникового изготовления, помогая улучшить урожайность и качество пластины.

Материальный состав и физические свойства

Ядро нашего графитового кольца, покрытого TAC,-это графитовое кольцо с высокой точкой, которое затем покрывается слоем карбида тантала (TAC).

Графитный субстрат:

Графит предоставляет несколько ключевых преимуществ. Он обладает превосходной тепловой стабильностью, сопротивляющейся деформации при высоких температурах, распространенных при полупроводниковой обработке. Его легкая природа сводит к минимуму тепловую массу, что позволяет быстро нагревать и циклы охлаждения. Графит высокой чистоты также предотвращает загрязнение камеры процесса.

Cvd TAC Cotating:

Уточнение карбида тантала является ключом к превосходной производительности кольца. TAC - это чрезвычайно твердый керамический материал, предлагающий исключительную износ и инертность. Он защищает базовый графит от агрессивной плазмы и коррозийных газов, значительно продлевая продолжительность жизни кольца. Это покрытие также предотвращает выброс частиц, что имеет решающее значение для поддержания среды чистой процесса и предотвращения дефектов на поверхности пластины.

Роль направляющих колец в обработке пластин

Наше кольцо на покрытии TAC играет жизненно важную роль в обеспечении качества и эффективности полупроводникового изготовления.

● Выравнивание и стабильность пластин: Во время эпитаксиального роста или травления направляющее кольцо удерживает пластину в точном положении. Это предотвращает смещение пластины, что необходимо для однородного осаждения слоя и точного переноса шаблона по всей поверхности пластины.

● Тепловое управление: Термические свойства карбида графита и карбида тантала обеспечивают эффективное распределение и управление тепла. Это важно для поддержания равномерного температурного профиля по всей пластине, что необходимо для постоянной толщины пленки и свойств материала.

● Контроль загрязнения: Материалы с высокой точкой и долговечным покрытием TAC минимизируют генерацию частиц и исход. Это снижает риск загрязнения и дефектов пластины, что приводит к более высокой выходе и надежности устройства.

● Расширенная срок службы компонента: Надежное карбидовое покрытие тантала обеспечивает превосходную устойчивость к эрозии плазмы и химической атаки. Это продлевает срок службы руководящего кольца, сокращает простоя технического обслуживания и снижение общей стоимости владения.