Кольцо с карбидом тантала

Vetek Semiconductor Carbide Carbide Carbide Ring изготовлено изграфити покрытый карбидом тантала, комбинация, которая использует наилучшие свойства обоих материалов для обеспечения превосходной производительности и долговечности. 

Покрытие TAC на карбидном кольце карбида тантала гарантирует, что оно остается химически инертным в реактивной атмосфере печей роста кристаллов SIC, которые часто включают газы, такие как водород, аргон и азот. Эта химическая инертность жизненно важна для предотвращения любого загрязнения растущего кристалла, что может привести к дефектам и снижению производительности окончательных полупроводниковых продуктов. Кроме того, тепловая стабильность, обеспечиваемая покрытием TAC, позволяет карбидному кольцу карбида тантала эффективно работать при высоких температурах, необходимых для роста кристаллов SIC, обычно превышая 2000 ° C.

Плотное и равномерное покрытие TAC может быть приготовлено на поверхности графита путем распыления плазмы, метода сердечно -сосудистых заболеваний и метода спекания суспензии, но метод распыления в плазме имеет высокие требования к оборудованию и образование TA2C. Трудно приготовить композитное покрытие с помощью метода спекания суспензии, а устойчивость к термическому шоку покрытия плохая. Покрытие, приготовленное методом сердечно -сосудистых заболеваний, имеет контролируемый состав и самую высокую плотность, которая в настоящее время является распространенным методом карбида тантала.

Механические свойства TAC значительно уменьшают износ на кольце карбида тантала. Это имеет решающее значение из -за повторяющейся природы процесса роста кристаллов, который подвергает направляющее кольцо частым тепловым циклам и механическим напряжениям. Твердость и устойчивость к износу TAC гарантируют, что кольцо с покрытием TAC поддерживает свою структурную целостность и точные размеры в течение длительных периодов, сводя к минимуму необходимость частых замены и сокращение времени простоя в производственном процессе. 

Основная плотность карбидового покрытия тантала составляет 14,3 г/см3, излучательная способность 0,3, твердость составляет 2000HK, температура плавления составляет 3950S ℃, а хорошие физические свойства были выбраны в качестве общего материала для третьего поколения полупроводников.

Кроме того, комбинация графита и TAC в карбид -кольце карбида тантала оптимизирует тепловое управление в печи с ростом кристаллов. Высокая теплопроводность Graphite эффективно распределяет тепло, предотвращая горячие точки и способствуя однородному росту кристаллов. Между тем, покрытие TAC служит тепловым барьером, защищая графитовое ядро ​​от прямого воздействия высоких температур и реактивных газов. Эта синергия между сердечниками и материалами для покрытия приводит к руководству кольца, которое не только выдерживает резкие условияSIC Crystal Growthно также повышает общую эффективность и качество процесса.

Vetek Semiconductor Carbide Carbide Carbide Ring является важным компонентом в полупроводниковой промышленности, специально разработанной для ростаКремниевые кристаллы карбидаПолем Его дизайн использует сильные стороны карбида графита и тантала для обеспечения исключительной производительности в высокотемпературной среде с высоким уровнем стресса. Покрытие TAC обеспечивает химическую инертность, механическую долговечность и тепловую стабильность, которые имеют решающее значение для создания высококачественных кристаллов SIC. Поддерживая свою целостность и функциональность в экстремальных условиях, кольцо подтверждает эффективный и без дефектов рост кристаллов SIC, способствуя развитию высокопроизводительных и высокочастотных полупроводниковых устройств.

Vetek Semiconductor является ведущим производителем и поставщикомКарбидовое покрытие тантала, Кремниевое карбидовое покрытиеиСпециальный графитв Китае. Мы давно стремились предоставить передовые технологии и решения для продуктов для полупроводниковой промышленности, и искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Покрытие карбидом тантала (TAC)на микроскопическом поперечном сечении：

ОбзорПолупроводниковая отрасль отрасли промышленности чипсов：