Кольцо с покрытием TAC

Кольцо Veteksemi TAC, покрытое кольцом, является высокопроизводительным компонентом, адаптированным для процессов производства полупроводников. Его однозначно спроектированное карбид тантала (TAC) придает продукту превосходную высокотемпературную сопротивление, коррозионную стойкость и механическую стабильность, что значительно улучшило срок службы и надежность графитовых компонентов в полупроводниковом оборудовании.

Превосходная производительность карбида тантала:

● Сверх высокая температурная устойчивость: TAC покрытия могут легко выдерживать экстремальные температуры до 2200 ° C и оставаться стабильными в средах теплового шока, распространенными в производстве полупроводников.

● Превосходная химическая стабильность: покрытие показывает сильную устойчивость к общим коррозионным газам, таким как водород, аммиак, силан и кремний, эффективно защищая субстрат от химической атаки.

● Отличные механические свойства: покрытие TAC имеет высокую твердость, устойчивость к износу и хорошее сопротивление термическому шоку и может долго работать в течение длительного времени в условиях труда.

● Превосходная адгезия: покрытие тесно связано с графитовым субстратом, эффективно предотвращая отключение покрытия и обеспечение постоянной производительности в течение всего срока службы продукта.

● Высокая чистота: покрытие TAC, подготовленное с помощью сердечно -сосудистых заболеваний, имеет чрезвычайно высокую чистоту, что сводит к минимуму введение примесей и обеспечивает чистую среду процесса для производства полупроводников.

Преимущества карбида с карбидом тантала:

● Срок службы расширенного оборудования: Покрытие TAC Эффективно блокирует химические реакции и диффузию примесей, значительно продлевая срок службы компонентов графита и снижая затраты на техническое обслуживание.

● Повышение эффективности производства: Высокая температурная устойчивость и коррозионное сопротивление продукта позволяет ему работать в более требовательных условиях, сокращая производственный цикл и увеличивая производственные мощности.

● Улучшение качества продукта: Покрытие с высокой чистотой TAC помогает уменьшить загрязнение, обеспечивая качество и согласованность полупроводниковых продуктов.

Vetek Semiconductor был специализирован на продуктах покрытия TAC, таких какTAC Cotating Chuck, Пластина вращения покрытия TAC, TAC Cating Suber, TAC, покрытый планоммного лет. Наши кольцевые изделия, покрытые TAC, имеют функции расширенного срока службы оборудования, повышения эффективности производства и улучшенного качества продукции. В то же время, Vetek Semiconductor уже давно привержен предоставлению передовых технологий и решений для продуктов для полупроводниковой промышленности. 

Благодаря различным химическим свойствам графитовых и тантальных карбидных материалов, коэффициент термического расширения не будет совпадать, и его легко нагревать при высокой температуре с помощью полупроводника Vetek через конкретный процесс, чтобы способствовать формированию танталумного покрытия, частично осажденного на поверхности, и частично проникнув в графитовую матрицу. Таким образом, карбидовое покрытие тантала тесно вложенное в графитовую матрицу посредством роста на месте, что значительно увеличивает силу связывания между покрытием и матрицей и эффективно предотвращает защелку карбидового покрытия тантала. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Тантал карбид, покрытые кольцами, магазины: