TAC, покрытый планом

Полупроводник TAC Paffer Pafer PaferМеталлическое осаждение химического пары (MOCVD)реакторы дляполупроводниковые эпитаксиальные (EPI) процессыПолем Эта специализированная круглая основа сделана из высококачественного графита и покрыта слоем карбида тантала (TAC), который хорошо известен своими исключительными термическими и химическими свойствами.

Основная функция покрытия TAC заключается в повышении производительности и долговечности восприимчика пластины в суровых условиях производства полупроводников. Карбид тантала известен своей твердостью, высокой темой плавления и выдающейся износостойкой стойкостью, что делает его идеальным защитным слоем. Это покрытие защищает базовое графитовое основание от коррозийных химических реакций и механических напряжений, которые возникают внутриMOCVD Реакторы, продление срока службы оборудования и повышение надежности.

Во время эпитаксиального роста полупроводниковых материалов, Pafer Paffer, покрытый TAC, играет жизненно важную роль, обеспечивая точное осаждение пленки. Его устойчивость к высоким температурам и суровой химической среде имеет решающее значение для точного производства полупроводниковых устройств, что позволяет оборудованию стабильно функционировать в условиях требования.

КомбинацияГрафитовое ядроиПокрытие TACОбеспечивает равномерное распределение тепла по восприимчивому, что важно для повышения повторяемости и качества полупроводниковых слоев, выращенных во время процесса MOCVD. Эта передовая конструкция материала не только обеспечивает долговечность, но и соответствует строгим требованиям современного производства полупроводников для высокопроизводительных электронных компонентов.

Как ведущий поставщик и производитель Pafer Paffer Paffers, полупроводник Vetek стремится предоставить высококачественные технические решения для полупроводниковой промышленности. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным доверенным партнером в Китае, предлагая надежные, индивидуальные продукты.

Vetek Semiconductor TAC, покрытые платья,: