Услуги и ресурсы

Оптимизация и массовое производство

Самой большой проблемой при плавном переходе от внедрения нового продукта (NPI) к крупносерийному производству (HVM) является последовательность. Благодаря блокировке процесса, статистическому контролю процесса SPC и углубленной диагностике возвращаемых на месте деталей мы гарантируем, что 1000-й продукт не будет отличаться по качеству от первого образца.

Система обеспечения массового производства:

  • Возможность производства CVD большой мощности и однородное тепловое поле:Несколько крупногабаритных многозонных CVD-реакторов высокой чистоты обеспечивают эффективное осаждение на большие графитовые подложки, обеспечивая чрезвычайно высокую согласованность тепловых полей и полей потока во время серийного производства.
  • Строгий контроль точности копирования:После проверки массового производства партии графитового сырья, маршруты обработки на станках с ЧПУ, чистота реакционного газа CVD, кривые изменения температуры печи и давление в камере фиксируются, что сводит к минимуму колебания от партии к партии.
  • SPC Статистический контроль процессов:Полный мониторинг важных показателей, таких как распределение толщины пленки, шероховатость поверхности и удельное сопротивление во время серийного производства, обеспечивает стабильную сходимость основных параметров с полной отслеживаемостью данных.
  • Углубленная диагностика деталей, возвращаемых на местах:Сотрудничать с клиентами для проведения микроскопической диагностики (СЭМ + анализ поперечного сечения) деталей, возвращенных из экстремальных условий эксплуатации, точно определяя локальные точки износа и концентрации напряжений.
  • Динамическая точная настройка структуры и рецептов процессов:На основе реальных данных об износе камеры можно выполнить обратную оптимизацию геометрии компонентов и параметров процесса осаждения, чтобы продлить срок службы последующих партий из источника, образуя эффективный цикл.

Реальный случай и преимущества для клиентов (опыт):

Ведущий производитель фотоэлектрических элементов TOPCon:Во время первоначального внедрения аксессуары для графитовых лодочек имели разную толщину пленки (± 15%) между партиями, что влияло на однородность покрытия. Мы начали полный процесс SPC-мониторинга и зафиксировали три критических параметра процесса (температура осаждения, скорость потока газа, давление в камере).В течение 3 недель изменение однородности толщины пленки сократилось с ±15% до ±3%.В настоящее время линия стабильно поставляет более 200 партий, при этом процент прохождения партий стабильно превышает 99,2%, что помогает заказчику снизить процент поломки пластин на 1,5%.

SPC process control chart

Часто задаваемые вопросы

1. Вопрос: Как мне выбрать между покрытием CVD SiC и покрытием CVD TaC?

▼

А:Обратите внимание на температуру процесса и интенсивность газофазной коррозии. Если температура процесса ниже 1000 °C и в основном используется травление на основе Cl₂/F₂ или традиционная эпитаксия, выберитеCVD-карбид кремниядля наилучшего соотношения цены и качества; если температура процесса превышает 1200 °C и происходит в сильно агрессивных средах (например, PVT-выращивание монокристаллов SiC), мы рекомендуемССЗ TaC, который обеспечивает превосходную температурную и коррозионную стойкость. Мы можем предоставить бесплатный отчет с рекомендациями по выбору на основе ваших конкретных параметров процесса.

2. Вопрос: Поддерживаете ли вы изготовление единичных/мелкосерийных прототипов? Каково время выполнения?

▼

А:Да! Для реверс-инжиниринга прототиповМинимальный заказ — 1 шт.. Для обычных простых деталей, от получения образца до доставки сопоставленной детали, самое быстрое время выполнения заказа составляет примерно10–15 рабочих дней; для деталей, требующих сложных процессов нанесения покрытия, это примерно20–25 рабочих дней. Свяжитесь с нашими инженерами для ускоренной оценки.

3. Вопрос: Что вызывает расслоение CVD-покрытия на графитовых деталях во время использования? Можно ли это решить?

▼

А:90% случаев расслоения вызваны несоответствием коэффициента термического расширения (КТР) графитовой подложки и покрытия, что приводит к усталостному отслаиванию при быстром нагреве/охлаждении. Наше решение: сначала точно измерьте кривую КТР исходной детали, затем специально отрегулируйте плотность подложки и градиент температуры осаждения, чтобы два КТР полностью совпадали. Прочность соединения можно повысить более чем до1,5 разатрадиционный уровень отрасли.

4. Вопрос: Можете ли вы предоставить сертификат подлинности (сертификат анализа) на продукцию? Какие данные он включает?

▼

А:Каждый поставляемый продукт стандартно поставляется суникальный серийный номер + полный отчет CoA. Отчет включает в себя: данные проверки критических размеров на КИМ, карту распределения толщины многоточечного покрытия, значения шероховатости поверхности (Ra) и выводы анализа чистоты материала (GDMS).

Начните свою эксклюзивную услугу прямо сейчас

Телефон: +86-18069220752(Тина);+86-15988690905(Сэра)

Электронная почта: anny@veteksemi.com

X
Мы используем файлы cookie, чтобы предложить вам лучший опыт просмотра, анализировать трафик сайта и персонализировать контент. Используя этот сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов cookie. политика конфиденциальности
ОтклонятьПринимать