Материалы и дизайн

Выбор подходящей комбинации подложки и покрытия является ключом к предотвращению преждевременного выхода из строя компонентов, уменьшению загрязнения частицами и максимальному увеличению выхода пластин. Мы предоставляем индивидуальные решения по материалам и конструкциям, соответствующие конкретному технологическому окну клиента (рабочая температура, химический состав реактивного газа, скорость изменения скорости).

Наши основные возможности проектирования:

• Строгое соответствие стрессу CTE:Для быстрого термоциклирования (>100 °C/мин) мы точно согласовываем температурные кривые КТР графитовых подложек высокой чистоты и покрытий CVD, существенно снижая риск расслоения покрытия и микротрещин.
• Выбор покрытия для конкретного сценария:Покрытие CVD SiC для эпитаксии Si/SiC (Epi), MOCVD и плазменного травления; Покрытие CVD TaC для более высоких температур и сильно коррозионных условий (например, PVT-рост монокристаллов SiC).
• Оптимизация контролируемого удельного сопротивления и теплопроводности:Точный контроль объемного удельного сопротивления и теплопроводности подложки и покрытия для удовлетворения конкретных требований к электрическим и тепловым полям RF, электростатических патронов ESC или зон нагрева.
• Контроль источников загрязнения и сокращение CoO:Слои CVD-осаждения высокой чистоты плотно герметизируют пористый графит, значительно снижая высыпание частиц, диффузию ультраследовых металлических примесей и риск высокотемпературного газовыделения.

Типичное сравнение выбора покрытия (краткое руководство)

Реальный случай и преимущества для клиентов (опыт):

Ведущий производитель SiC-эпитаксии (Epi):В исходном компоненте использовалось неподходящее покрытие CVD TaC, что приводило к чрезмерному межфазному напряжению и частым микротрещинам при высокой температуре. Мы повторно запустили термодинамическое моделирование и переключились наСпециальная графитовая подложка высокой чистоты, соответствующая КТР + буферный слой + покрытие CVD-карбид кремниярешение. Результат: средний срок службы компонентов увеличился с 200 часов до 850 часов; годовая частота замены инструмента снизилась с 40 до 9 раз; Комплексная экономия затрат на эксплуатацию и обслуживание оборудования превысила 650 000 юаней в год.

Отчет об анализе чистоты GDMS для покрытий TaC и SiC

Часто задаваемые вопросы

Начните свою эксклюзивную услугу прямо сейчас