Каков градиент температуры теплового поля монокристаллической печи?

Что такоетепловое поле?

Температурное полеМонокристаллический ростОтносится к пространственному распределению температуры в монокристаллической печи, также известной как тепловое поле. Во время прокаливания распределение температуры в тепловой системе является относительно стабильным, что называется статическим тепловым полем. Во время роста монокристалла тепловое поле будет изменяться, которое называется динамическим тепловым полем.

Когда монокристалл растет из -за непрерывного преобразования фазы (жидкая фаза в твердую фазу), скрытая тепло твердой фазы непрерывно выделяется. В то же время кристалл становится длиннее и длиннее, уровень расплава постоянно падает, а теплопровождение и излучение меняются. Следовательно, тепловое поле меняется, которое называется динамическим тепловым полем.

Что такое сплошной жидкий интерфейс?

В определенный момент любая точка в печи имеет определенную температуру. Если мы подключим точки в пространстве с той же температурой в поле температуры, мы получим пространственную поверхность. На этой пространственной поверхности температура равен везде, которую мы называем изотермической поверхностью. Среди изотермических поверхностей в монокристаллической печи существует очень особая изотермическая поверхность, которая представляет собой границу между твердой фазой и жидкой фазой, поэтому она также называется границей с твердое жидкостью. Кристалл растет из границы с твердым жидкостью.

Что такое градиент температуры?

Градиент температуры относится к скорости изменения температуры точки A в тепловом поле к температуре соседней точки B. То есть скорость изменения температуры на единичном расстоянии.

КогдаМонокристаллический кремнийРастет, в термическом поле существует две формы твердых и расплавных, а также два типа температурных градиентов:

▪ Градиент продольного температуры и градиент радиальной температуры в кристалле.

▪ Градиент продольного температуры и градиент радиальной температуры в расплаве.

▪ Это два совершенно разных распределения температуры, но градиент температуры на градиенте твердого жидкости, которые могут больше всего влиять на состояние кристаллизации. Градиент радиального температуры кристалла определяется продольной и поперечной теплопроводимостью кристалла, поверхностного излучения и новое положение в термическом поле. Вообще говоря, центральная температура высока, а температура края кристалла низкая. Радиальный градиент температуры расплава в основном определяется обогревателями вокруг него, поэтому центральная температура низкая, температура вблизи тигера высока, а радиальная температура всегда положительный.

Разумное распределение температуры теплового поля необходимо для соответствия следующим условиям:

▪ Градиент продольного температуры в кристалле достаточно большой, но не слишком большой, чтобы гарантировать, что во время способности рассеивания тепловой рассеивается.рост кристаллаЧтобы забрать скрытую жару кристаллизации.

▪ Градиент продольного температуры в расплаве относительно большой, гарантируя, что в расплаве не генерируются новые кристаллические ядра. Однако, если он слишком большой, легко вызвать дислокации и поломки.

▪ Градиент продольной температуры на графике кристаллизации, соответственно, велик, тем самым образуя необходимую недостаточную охлаждение, так что монокристалл имеет достаточный импульс роста. Он не должен быть слишком большим, в противном случае будут происходить структурные дефекты, а радиальный градиент температуры должен быть максимально небольшим, чтобы сделать график кристаллизации плоским.

Vetek Semiconductor - профессиональный китайский производительРост кристалля SIC Пористый графит, Монокристаллический тягающий тигб, Потянуть кремниевый монокристаллический джиг, Тиг для монокристаллического кремния, Трубка с карбидом тантала для роста кристалловПолем  Vetek Semiconductor стремится предоставлять передовые решения для различных продуктов SIC пластин для полупроводниковой промышленности.

Если вы заинтересованы в вышеуказанных продуктах, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам напрямую.  

Толпа: +86-180 6922 0752

WhatsApp: +86 180 6922 0752

Электронная почта: anny@veteksemi.com