Направляющее кольцо с покрытием TaC

Vetek Semiconductor - это профессиональное китайское кольцо по покрытию TAC, тиг TAC Cust Custing, производитель и поставщик семян.

Покрытие TaC Тигель, держатель затравки и направляющее кольцо с покрытием TaC в монокристаллических печах SiC и AIN были выращены методом PVT.

Когда для приготовления SiC используется метод физического переноса пара (PVT), затравочный кристалл находится в области относительно низких температур, а сырье SiC находится в области относительно высоких температур (выше 2400 ℃). В результате разложения сырья образуется SiXCy (в основном Si, SiC₂, Si₂C и т. д.). Материал паровой фазы транспортируется из области высоких температур к затравочному кристаллу в области низких температур, зарождается и растет. Для формирования монокристалла. Материалы теплового поля, используемые в этом процессе, такие как тигель, направляющее кольцо потока, держатель затравочных кристаллов, должны быть устойчивыми к высоким температурам и не загрязнять сырье SiC и монокристаллы SiC. Аналогичным образом, нагревательные элементы при выращивании монокристаллов AlN должны быть устойчивы к парам Al, коррозии N₂ и должны иметь высокую эвтектическую температуру (и AlN), чтобы сократить период подготовки кристаллов.

Было обнаружено, что SIC и Aln, полученные с помощью графитовых тепловых полевых материалов с графитом, более чистыми, почти отсутствие углерода (кислород, азот) и другие примеси, меньше дефектов края, меньшее удельное сопротивление в каждой области, а плотность микропоры и плотность ямы были Значительно уменьшенное (после травления KOH), и качество кристалла значительно улучшилось. Кроме того, уровень потери веса TAC почти равен нулю, внешний вид неразрушающий, может быть переработан (срок службы до 200 часов), может повысить устойчивость и эффективность такой монокристаллической подготовки.

Параметр продукта кольца руководства по покрытию TAC:

Производственные магазины:

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике: