В чем разница между CVD TAC и спеченным TAC?

1. Что такое карбид тантала?

Карбид тантала (TAC) представляет собой бинарное соединение, состоящее из тантала и углерода с эмпирической формулой TACX, где x обычно варьируется в диапазоне от 0,4 до 1. Они очень твердые, хрупкие металлические проводящие изличительные керамические материалы. Это коричневые серые порошки, обычно спеченные. В качестве важного металлического керамического материала, карбид тантала используется в коммерческом смысле для режущих инструментов и иногда добавляется в карбид -сплавы вольфрама.

Рисунок 1. Тантал карбид сырье

Керамика карбида тантала представляет собой керамику, содержащую семь кристаллических фаз карбида тантала. Химическая формула представляет собой TAC, фокусированная с лицом кубической решетки.

Рисунок 2.Карбид тантала - Википедия

Теоретическая плотность составляет 1,44, температура плавления составляет 3730-3830 ℃, коэффициент термического расширения составляет 8,3 × 10-6, упругое модуль составляет 291 ГПа, термическая проводимость составляет 0,22 Дж/см · с · С, а пиковая температура тантала карбида составляет около 3880, в зависимости от условий пучи и измерения. Это значение является самым высоким среди двоичных соединений.

Рисунок 3.Химическое осаждение пары карбида тантала в табр5 и ндаш

2. Насколько силен карбид тантала?

Тестируя твердость Виккерса, вязкость переломов и относительную плотность серии образцов, можно определить, что TAC обладает лучшими механическими свойствами при 5,5GPA и 1300 ℃. Относительная плотность, вязкость переломов и твердость TAC Vickers составляют 97,7%, 7,4 МПАМ1/2 и 21,0 ГПа соответственно.

Карбид тантала также называется карбидом тантала, которая в широком смысле является своего рода керамическим материалом;Методы приготовления карбида тантала включаютСердечно -сосудистыйМетод, метод спеканияи т. д. в настоящее время метод сердечно -сосудистых заболеваний чаще используется в полупроводниках, с высокой чистотой и высокой стоимостью.

3. Сравнение спеченного карбида тантала и карбида сердечно -сосудистых заболеваний

В технологии обработки полупроводников фигурированный карбид карбида тантала и химического осаждения паров (CVD) карбид тантала являются двумя распространенными методами приготовления карбида тантала, которые имеют значительные различия в процессе подготовки, микроструктуре, производительности и применения.

3.1 Процесс подготовки

Стопленный карбид тантала: порошок карбида тантала спечен при высокой температуре и высоком давлении, чтобы сформировать форму. Этот процесс включает в себя уплотнение порошка, рост зерна и удаление примесей.

Карбид карбида тантала: карбид тантала, предшественник карбида, используется для химического реагирования на поверхности нагретого субстрата, а карбида тантала нанесена на слой слоем. Процесс CVD обладает хорошей способностью управлять толщиной пленки и однородность композиции.

3.2 Микроструктура

Стопный карбид тантала: как правило, это поликристаллическая структура с большим размером зерна и полями. На его микроструктуру влияют такие факторы, как температура спекания, характеристики давления и порошка.

Карбид CVD Tantalum: обычно это плотная поликристаллическая пленка с небольшим размером зерна и может достичь высоко ориентированного роста. На микроструктуру пленки влияют такие факторы, как температура осаждения, давление газа и состав газовой фазы.

3.3 Различия в производительности

Рисунок 4. Различия производительности между спеченным TAC и CVD TAC

3.4 Приложения

Стопленный карбид тантала: Из-за высокой прочности, высокой твердости и высокой температурной сопротивления он широко используется в режущих инструментах, устойчивых к износостойкому деталям, высокотемпературным структурным материалам и другим полям. Например, спеченный карбид тантала может использоваться для изготовления режущих инструментов, таких как упражнения и резаки для фрезерного производства, для повышения эффективности обработки и качества поверхности части.

Cvd Tantalum Carbide: Из -за его тонкоплентных свойств, хорошей адгезии и однородности, он широко используется в электронных устройствах, материалах для покрытия, катализаторах и других областях. Например, карбид CVD Tantalum может использоваться в качестве взаимодействия для интегрированных цепей, устойчивых к износостойкому покрытиям и носителей катализатора.

-------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

В качестве производителя карбида, поставщика и завода, поставщика и завода, Vetek Semiconductor является ведущим производителем материалов для карбида карбида тантала для полупроводниковой промышленности.

Наши основные продукты включаютCVD Tantalum Carbide Partic, спеченные детали, покрытые TAC для роста кристаллов SIC или процессы эпитаксии полупроводникового эпитаксии. Наши основные продукты - это гидные кольца с карбидом тантала, направляющие кольца с покрытием TAC, запасные детали с таковым покрытием TAC, карбисные карбиды, карбисные карбиды, планетарные вращающиеся диски (Aixtron G10), тихой, покрытый TAC; TAC Covert Rings; TAC покрыт пористый графит; Карбисные карбиты с карбином графита; TAC Coated Guide Dired Rings; TAC Tantalum Carbide Plating; TAC, покрытые пластинами Графитовые шапки с покрытием TAC; TAC, покрытые блоками, и т. Д., С чистотой менее 5 частей на чайной для 5 частей на 5 чай вечеринки для удовлетворения требований клиентов.

Рисунок 5. Продукты с горячим продажами Vetek Semiconductor

Vetek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии карбида карбида тантала посредством непрерывных исследований и разработки итерационных технологий. 

Если вы заинтересованы в продуктах TAC, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам напрямую.

Толпа: +86-180 6922 0752

WhatsApp: +86 180 6922 0752

Электронная почта: anny@veteksemi.com