Датчик быстрого термического отжига

Полупроводник Vetek

Быстрая термическая отжига (RTA) представляет собой решающее подмножество быстрой тепловой обработки, используемой в полупроводниковом изготовлении. Он включает нагрев отдельных пластин, чтобы изменить их электрические свойства с помощью различных целевых тепловых обработок. Процесс RTA обеспечивает активацию легированных уса или в подложку пластины.

Продукт VeTek Semiconductor, датчик быстрого термического отжига, играет жизненно важную роль в процессе RTP. Он изготовлен из графита высокой чистоты с защитным покрытием из инертного карбида кремния (SiC). Кремниевая подложка с покрытием SiC выдерживает температуру до 1100°C, обеспечивая надежную работу даже в экстремальных условиях. Покрытие SiC обеспечивает превосходную защиту от утечки газа и осыпания частиц, обеспечивая долговечность изделия.

Для обеспечения точного контроля температуры чип заключен между двумя компонентами из графита высокой чистоты, покрытыми SiC. Точные измерения температуры можно получить с помощью встроенных высокотемпературных датчиков или термопар, контактирующих с подложкой.

Основные физические свойства покрытия Cvd SIC:

Цех по производству полупроводников ВеТек:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов: