Продукты

Наша роботизированная рука кремниевого карбида (SIC) предназначена для высокопроизводительной обработки пластин при передовом производстве полупроводников. Эта роботизированная рука, изготовленная из карбида с высокой чистотой кремния, обеспечивает исключительную устойчивость к высоким температурам, коррозии в плазме и химической атаке, обеспечивая надежную работу в требовании среды чистых комнат. Его исключительная механическая прочность и размерная стабильность обеспечивают точную обработку пластин при минимизации рисков загрязнения, что делает его идеальным выбором для MOCVD, эпитаксии, ионной имплантации и других приложений для обработки критических пластин. Мы приветствуем ваши запросы.

Veteksemicon специализируется на предоставлении индивидуальных продуктов Quartz Pafer Boat для полупроводниковой промышленности. Наша линейка продуктов включает в себя полупроводниковые слитые стеклянные лодки кварцевых лодок, кварцевые диффузионные лодки и индивидуальные лодки отжига кварца, широко используемые в высоких процессах, таких как диффузия, окисление и сердечно-сосудистые заболевания. Veteksemicon настаивает на предоставлении комплексных индивидуальных услуг продуктов и технологий. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.

Veteksemicon SIC Pafer Lods широко используются в критических высокотемпературных процессах в производстве полупроводников, служащих в качестве надежных носителей для процессов окисления, диффузии и отжига для интегрированных цепей на основе кремния. Они также преуспевают в полупроводниковом секторе третьего поколения, идеально подходящим для требовательных процессов, таких как эпитаксиальный рост (EPI) и металлоорганическое химическое осаждение паров (MOCVD) для силовых устройств SIC и GAN. Они также поддерживают высокотемпературное изготовление высокоэффективных солнечных элементов в фотоэлектрической промышленности. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.

Графитовая насадка для душа с покрытием CVD SIC от Veteksemicon представляет собой высокопроизводительный компонент, специально разработанный для процессов полупроводникового химического отложения пара (CVD). Произведенная из графита высокой чистоты и защищено химическим осаждением пары (CVD) кремниевого карбида (SIC), эта головка душа обеспечивает выдающуюся долговечность, тепловую стабильность и сопротивление газам коррозийного процесса. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.

Кварцевая насадка для душа, также известная как распределительная пластина кварцевого газа, представляет собой критический компонент, используемый в процессах полупроводникового осаждения, таких как сердечно-сосудистые осаждения (химическое осаждение из пара), PECVD (CVD с усилением в плазме) и ALD (осаждение атомного слоя). Этот компонент, изготовленный из целебного кварца, обеспечивает ультра-низкую загрязнение и превосходную тепловую стабильность, обеспечивая точную доставку газа и равномерный рост пленки на поверхности пластины. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.

Наши кольца с графитом, покрытым TAC, представляют собой точные компоненты ядра для производства полупроводниковых пластин. Они оснащены графитовой подложкой с высокой чистотой, покрытой износостойким и химически инертным карбидом тантала (TAC). Предназначенные для требовательных процессов, таких как эпитаксиальное осаждение и травление в плазме, они обеспечивают точное выравнивание и стабильность пластики, эффективно контролировать загрязнение и значительно продлевают срок службы компонентов. Veteksemicon предлагает услуги настройки для идеального соответствия вашего оборудования и требований к процессу.