Продукты

Графитовая лодочка Veteksemicon для PECVD изготовлена ​​с высокой точностью из графита высокой чистоты и разработана специально для процессов химического осаждения из паровой фазы с плазменным усилением. Используя наше глубокое понимание полупроводниковых термополевых материалов и возможностей прецизионной обработки, мы предлагаем графитовые лодочки с исключительной термической стабильностью, отличной проводимостью и длительным сроком службы. Эти лодочки предназначены для обеспечения равномерного нанесения тонких пленок на каждую пластину в сложных условиях процесса PECVD, что повышает производительность процесса.

Графитовое кольцо с CVD-покрытием TaC от Veteksemicon разработано для удовлетворения экстремальных требований обработки полупроводниковых пластин. Используя технологию химического осаждения из паровой фазы (CVD), плотное и однородное покрытие из карбида тантала (TaC) наносится на графитовые подложки высокой чистоты, обеспечивая исключительную твердость, износостойкость и химическую инертность. В производстве полупроводников графитовое кольцо с покрытием CVD TaC широко используется в камерах MOCVD, травления, диффузии и эпитаксиального выращивания, служа ключевым структурным или герметизирующим компонентом для носителей пластин, токоприемников и экранирующих сборок. Ждём вашей дальнейшей консультации.

Пористое графитовое кольцо с покрытием TaC производства VETEK использует легкую пористую графитовую подложку и покрыто покрытием из карбида тантала высокой чистоты, обладающим превосходной устойчивостью к высоким температурам, агрессивным газам и плазменной эрозии.

Консольная лопатка из карбида кремния от Veteksemicon разработана для передовой обработки пластин при производстве полупроводников. Изготовленный из карбида кремния высокой чистоты, он обеспечивает исключительную термическую стабильность, превосходную механическую прочность и отличную устойчивость к высоким температурам и агрессивным средам. Эти функции обеспечивают точное обращение с пластинами, увеличенный срок службы и надежную работу в таких процессах, как MOCVD, эпитаксия и диффузия. Добро пожаловать на консультацию.

Керамический вакуумный патрон Veteksemicon SiC для пластин разработан для обеспечения исключительной точности и надежности при обработке полупроводниковых пластин. Изготовленный из карбида кремния высокой чистоты, он обеспечивает превосходную теплопроводность, химическую стойкость и превосходную механическую прочность, что делает его идеальным для сложных задач, таких как травление, осаждение и литография. Его сверхплоская поверхность гарантирует стабильную поддержку пластин, минимизирует дефекты и повышает производительность процесса. этот вакуумный патрон является надежным выбором для высокопроизводительной обработки пластин.

Кольцо фокусировки Veteksemi из твердого SiC значительно улучшает однородность травления и стабильность процесса за счет точного контроля электрического поля и потока воздуха на краю пластины. Он широко используется в процессах прецизионного травления кремния, диэлектриков и сложных полупроводниковых материалов и является ключевым компонентом для обеспечения производительности массового производства и долгосрочной надежной работы оборудования.