Продукты

Кварцевые тигли полупроводникового качества Veteksemicon являются ключевыми расходными материалами в процессе выращивания монокристаллов по методу Чохральского. Учитывая чрезвычайную чистоту и превосходную термическую стабильность, мы стремимся предоставлять клиентам высококачественную продукцию, которая демонстрирует стабильные характеристики и отличную устойчивость к кристаллизации в условиях высокой температуры и высокого давления. Это гарантирует качество кристаллических стержней из источника, помогая производству полупроводниковых кремниевых пластин достичь более высоких выходов и лучшей экономической эффективности.

Кольцо фокусировки Veteksemicon разработано специально для требовательного оборудования для травления полупроводников, особенно для травления SiC. Его основная функция, установленная вокруг электростатического патрона (ESC) в непосредственной близости от пластины, заключается в оптимизации распределения электромагнитного поля внутри реакционной камеры, обеспечивая равномерное и сфокусированное воздействие плазмы по всей поверхности пластины. Высокопроизводительное кольцо фокусировки значительно улучшает однородность скорости травления и уменьшает краевые эффекты, что напрямую повышает выход продукта и эффективность производства.

Несущая пластина из карбида кремния Veteksemicon для травления светодиодов, специально разработанная для производства светодиодных чипов, является основным расходным материалом в процессе травления. Изготовленный из прецизионно спеченного карбида кремния высокой чистоты, он обеспечивает исключительную химическую стойкость и стабильность размеров при высоких температурах, эффективно сопротивляясь коррозии, вызываемой сильными кислотами, основаниями и плазмой. Его свойства низкого загрязнения обеспечивают высокую производительность при изготовлении эпитаксиальных пластин светодиодов, а его долговечность, значительно превосходящая долговечность традиционных материалов, помогает клиентам снизить общие эксплуатационные расходы, что делает его надежным выбором для повышения эффективности и стабильности процесса травления.

Графитовая лодочка Veteksemicon для PECVD изготовлена ​​с высокой точностью из графита высокой чистоты и разработана специально для процессов химического осаждения из паровой фазы с плазменным усилением. Используя наше глубокое понимание полупроводниковых термополевых материалов и возможностей прецизионной обработки, мы предлагаем графитовые лодочки с исключительной термической стабильностью, отличной проводимостью и длительным сроком службы. Эти лодочки предназначены для обеспечения равномерного нанесения тонких пленок на каждую пластину в сложных условиях процесса PECVD, что повышает производительность процесса.

Графитовое кольцо с CVD-покрытием TaC от Veteksemicon разработано для удовлетворения экстремальных требований обработки полупроводниковых пластин. Используя технологию химического осаждения из паровой фазы (CVD), плотное и однородное покрытие из карбида тантала (TaC) наносится на графитовые подложки высокой чистоты, обеспечивая исключительную твердость, износостойкость и химическую инертность. В производстве полупроводников графитовое кольцо с покрытием CVD TaC широко используется в камерах MOCVD, травления, диффузии и эпитаксиального выращивания, служа ключевым структурным или герметизирующим компонентом для носителей пластин, токоприемников и экранирующих сборок. Ждём вашей дальнейшей консультации.

Пористое графитовое кольцо с покрытием TaC производства VETEK использует легкую пористую графитовую подложку и покрыто покрытием из карбида тантала высокой чистоты, обладающим превосходной устойчивостью к высоким температурам, агрессивным газам и плазменной эрозии.