Графитовое покрытие CVD из карбида кремния (SiC) RTP RTA Носитель

Особенности продукта

· Основное оборудование:Разработан для систем быстрого термического отжига (RTA) и быстрой термической обработки (RTP).

· Примарай Aприложение: Оптимизирован для процессов отжига полупроводниковых пластин.

· Опeрейтинг Тетемпература:Стабильная работа от 200°C до 700°C.

· Eхсотличный Термалая однородность: Обеспечивает равномерное распределение тепла для последовательной обработки пластин.

· Низкий уровень частицGгенерация: Плотное CVD-покрытие SiC сводит к минимуму загрязнение и повышает производительность.

· Превосходная химическая стойкость:Устойчив к окислению и агрессивным технологическим газам при термической обработке.

· Выдающийсяг ТермАль сопротивление ударам: Сохраняет структурную целостность благодаря повторяющимся быстрым циклам нагрева и охлаждения.

· Длительный срок службы:Износостойкое покрытие SiC значительно продлевает срок службы компонентов и снижает затраты на техническое обслуживание.

· ОбычайПроизводство:Доступны в различных размерах и конфигурациях для соответствия различному оборудованию RTP/RTA.

Технические характеристики

Приложения

·Быстрый термический отжиг (RTA)

· Быстрая термическая обработка (RTP)

· Отжиг кремниевых пластин

· Активация легирующей примеси

· Окисление

· Диффузия

·Производство сложных полупроводников

·Изготовление МЭМС

·Обработка силовых полупроводников

Часто задаваемые вопросы

1. Что такое оператор связи RTP/RTA?

RTP/RTA Carrier — это компонент поддержки пластин, используемый в системах быстрой термической обработки и быстрого термического отжига. Он надежно удерживает полупроводниковые пластины, обеспечивая равномерную теплопередачу на протяжении всего теплового цикла.

2. Почему предпочтение отдается CVD-покрытию SiC?

По сравнению с чистым графитом покрытие CVD SiC обеспечивает превосходную стойкость к окислению, меньшее образование частиц, лучшую химическую стабильность и значительно более длительный срок службы.

3. Может ли VETEK предоставить индивидуальные носители RTP/RTA?

Да. VETEK предлагает индивидуальные носители RTP/RTA по чертежам заказчика.