Твердая газовая душевая головка SiC

Сплошная газовая головка SIC

Vetek Semiconductor - интегрированная компания, занимающаяся исследованиями, производством и продажами. В течение многих лет Vetek Semiconductor работает над полупроводниковой эпитаксией, травлением и другими продуктами, связанными с процессами, особенно на наших флагманских продуктах, особенно на наших флагманских продуктах.

Газовая душевая головка VeTek Semiconductor Solid SiC обычно используется для равномерного распределения газов-прекурсоров на поверхности подложки во время процессов CVD полупроводников. Использование материала CVD-SiC для душевых насадок дает ряд преимуществ. Его высокая теплопроводность помогает рассеивать тепло, выделяемое в процессе CVD, обеспечивая равномерное распределение температуры на подложке. Кроме того, химическая стабильность насадки для душа CVD sic позволяет ей противостоять агрессивным газам и агрессивным средам, обычно встречающимся в процессах CVD. 

Дизайн душевых голов CVD SIC может быть адаптирована к конкретным системам сердечно -сосудистых систем и требованиям к процессу. Тем не менее, они обычно состоят из компонента в форме тарелки или диска с серией отверстий или слотов с точностью. Схема отверстия и геометрия тщательно разработаны для обеспечения равномерного распределения газа и скорости потока по поверхности субстрата.

Физические свойства твердого SiC