Новости

Что такое покрытие CVD TAC? - Ветексеми

Как мы все знали,карбид тантала (TAC)имеет температуру плавления до 3880 ° C, высокая механическая прочность, твердость, термостойкость; хорошая химическая инертность и термическая устойчивость к аммиаку, водороду, кремнийсодержащим парам при высоких температурах.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

Карбидовое покрытие тантала на микроскопическом поперечном сечении


Cvd TAC Cotating, химическое осаждение пары (сердечно -сосудистые заболеванияпокрытие карбидом тантала (TAC), представляет собой процесс формирования высокоплотного и прочного покрытия на подложке (обычно графите). Этот метод включает нанесение TaC на поверхность подложки при высоких температурах, в результате чего получается покрытие с превосходной термической стабильностью и химической стойкостью.


К основным преимуществам покрытий CVD TaC относятся:


●  Чрезвычайно высокая термическая стабильность.: Покрытие из карбида тантала выдерживает температуры, превышающие 2200°C.


●  Химическая стойкость: Покрытие CVD TaC эффективно противостоит агрессивным химическим веществам, таким как водород, аммиак и пары кремния.


● Сильная адгезия: Покрытие TaC обеспечивает длительную защиту без расслаивания.


● Высокая чистота: минимизирует примеси, что делает его идеальным для полупроводниковых применений.


Физические свойства покрытия из карбида тантала
Плотность покрытия TaC
14,3 (г/см³)
Конкретная излучательная способность
0.3
Коэффициент теплового расширения
6,3*10-6/K
Твердость покрытия (HK)
2000 Гонконг
Сопротивление
1 × 10-5Ом*см
Тепловая стабильность
<2500℃
Изменения размера графика
-10~-20ум
Толщина покрытия
≥20 ч. Типичное значение (35 мкл ± 10 м)


Эти покрытия особенно подходят для сред, которые требуют высокой долговечности и сопротивления экстремальным условиям, таким как производство полупроводников и высокотемпературные промышленные процессы.


В промышленном производстве, графит (Углеродный композит) материалы, покрытые покрытием TaC, с большой вероятностью заменят традиционный графит высокой чистоты, покрытие PBN, детали с покрытием SiC и т. д. Кроме того, в области аэрокосмической промышленности TaC имеет большой потенциал для использования в качестве высокотемпературного антиокислительного средства. и антиабляционное покрытие и имеет широкие перспективы применения. Однако остается еще много проблем, связанных с получением плотного, однородного, неотслаивающегося покрытия TaC на поверхности графита и продвижением промышленного массового производства.


В этом процессе изучение механизма защиты покрытия, инновации в производственном процессе и конкуренция с высшим внешним уровнем имеет решающее значение для третьего поколенияПолупроводник рост кристаллов и эпитаксию.




VeTek Semiconductor является профессиональным китайским производителем продуктов CVD-покрытий из карбида тантала, а чистота нашего покрытия TaC ниже 5 частей на миллион, что может удовлетворить требования клиентов. Основные продукты VeTekSemi с CVD-покрытием TaC включают: Тигель с CVD-покрытием TaC, CVD TAC Cating Carrier, Cvd TAC Catingater CaturierCvd TAC Cover Cover,  Cvd TAC Coating Ring. VeTek Semiconductor стремится предоставлять передовые решения для различных покрытий для полупроводниковой промышленности. VeTek Semiconductor искренне надеется стать вашим долгосрочным партнером в Китае.


VeTek CVD TaC Coating CarrierVETEK CVD TaC Coating CoverVETEK CVD TaC Coating Crucible

VETEK CVD TaC Coating RingVETEK CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TAC Coating PARTS


Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

Электронная почта: anny@veteksemi.com

Похожие новости
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept