Сколько вы знаете о CVD SIC? - Vetek Semiconductor

Cvd sic(Химическое осаждение паров кремниевое карбид) представляет собой силиконовый карбид с высокой чистотой карбидом, изготовленный при химическом отложении паров. Он используется в основном для различных компонентов и покрытий в полупроводниковом оборудовании. Сердечно -сосудистыйSIC материалимеет превосходную тепловую стабильность, высокую твердость, низкий коэффициент термического расширения и превосходную химическую коррозионную стойкость, что делает его идеальным материалом для использования в условиях экстремальных процессов.

Материал CVD SIC широко используется в компонентах, включающих высокую температуру, высоко коррозийную среду и высокое механическое напряжение в процессе производства полупроводников.

Cvd sicКомпонентыв основном, включая следующие продукты

● Сердечно -сосудистыйSIC Coter

Он используется в качестве защитного слоя для оборудования для полупроводникового переработки, чтобы предотвратить повреждение субстрата при высокой температуре, химической коррозии и механическом износе.

● SIC Pafer Boat

Он используется для переноса и транспортировки вафей в высокотемпературных процессах (таких как диффузия и эпитаксиальный рост), чтобы обеспечить стабильность пластин и однородность процессов.

● SIC процессная трубка

Проблемы SIC в основном используются в диффузионных печи и окислительных печи, чтобы обеспечить контролируемую реакционную среду для кремниевых пластин, обеспечивая точное отложение материала и равномерное распределение легирования.

● SIC Консольный весл

Кантилевое весло SIC в основном используется для переноски или поддержания кремниевых пластин в диффузионных печи и окислительных печи, играя роль подшипника. Особенно в высокотемпературных процессах, таких как диффузия, окисление, отжиг и т. Д., Это обеспечивает стабильность и равномерную обработку кремниевых пластин в экстремальных средах.

● Cvd SIC Summ

Он используется в качестве компонента распределения газа в плазменном оборудовании травления, с превосходной коррозионной стойкостью и тепловой стабильностью для обеспечения равномерного эффекта распределения газа и травления.

● SIC покрыт потолок

Компоненты в реакционной камере оборудования, используемые для защиты оборудования от повреждений при высокой температуре и коррозионных газах, и продлевают срок службы оборудования.

● Силиконовая эпитаксия восприимчиков

Перевозчики, используемые в кремниевых эпитаксиальных процессах роста, для обеспечения равномерного качества отопления и осаждения.

Химический паров, нанесенный кремниевым карбидом (CVD SIC), имеет широкий спектр применений при полупроводниковой обработке, в основном используемых для изготовления устройств и компонентов, которые устойчивы к высоким температурам, коррозии и высокой твердости. 

Cvd sicОсновная роль отражается в следующих аспектах

✔ Защитные покрытия в высокотемпературных условиях

Функция: CVD SIC часто используется для поверхностных покрытий ключевых компонентов в полупроводниковом оборудовании (таких как совет, подкладка реакционной камеры и т. Д.). Эти компоненты должны работать в высокотемпературных средах, а покрытия CVD SIC могут обеспечить отличную тепловую стабильность для защиты субстрата от высокотемпературных повреждений.

Преимущества: Высокая температура плавления и отличная теплопроводность сердечно -сосудистых заболеваний гарантируют, что компоненты могут работать в течение длительного времени в условиях высокой температуры, продлевая срок службы оборудования.

✔ Антикоррозионные приложения

Функция: В производственном процессе полупроводников покрытие CVD SIC может эффективно противостоять эрозии коррозионных газов и химических веществ и защищать целостность оборудования и устройств. Это особенно важно для обработки высоко коррозионных газов, таких как фториды и хлориды.

Преимущества: Обеспечивая покрытие CVD SIC на поверхность компонента, затраты на повреждение оборудования и техническое обслуживание, вызванные коррозией, могут быть значительно снижены, а эффективность производства может быть улучшена.

✔ Высокие прочности и устойчивые к износу приложения

Функция: Материал CVD SIC известен своей высокой твердостью и высокой механической прочностью. Он широко используется в полупроводниковых компонентах, которые требуют устойчивости к износу и высокой точности, таких как механические уплотнения, несущие нагрузки и т. Д. Эти компоненты подвергаются сильному механическому напряжению и трения во время работы. CVD SIC может эффективно противостоять этим напряжениям и обеспечить длительный срок службы и стабильные характеристики устройства.

Преимущества: Компоненты, изготовленные из CVD SIC, могут не только противостоять механическому напряжению в экстремальных средах, но также сохранять их размерную стабильность и поверхностную отделку после долгосрочного использования.

В то же время CVD SIC играет жизненно важную роль вСветодиодный эпитаксиальный рост, Power Semiconductors и другие поля. В процессе производства полупроводников субстраты CVD SIC обычно используются какEPI PempectorsПолем Их превосходная теплопроводность и химическая стабильность делают взрослые эпитаксиальные слои имеют более высокое качество и последовательность. Кроме того, CVD SIC также широко используется вPSS Требительные носители, RTP -пластины, ICP Тэтч -носителии т. д., обеспечивая стабильную и надежную поддержку во время полупроводникового травления для обеспечения производительности устройства.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd является ведущим поставщиком усовершенствованных материалов для покрытия для полупроводниковой промышленности. Наша компания сосредоточена на решениях для развития для отрасли.

Наши основные предложения продуктов включают покрытия из карбида кремния (SIC) кремния (SIC), карбиды тантала (TAC), объемные SIC, порошки SIC и материалы SIC с высокой точностью, SIC с графитом, предварительно разгретый, Diversion Cring Coversion, полумун, режущие детали и т. Д., Чистота ниже 5 PPM, режущие кольцы могут соответствовать требованиям клиентов.

Vetek Semiconductor фокусируется на разработке передовых технологий и решений для разработки продуктов для полупроводниковой промышленности.Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.