Продукты
Консольное весло SiC
  • Консольное весло SiCКонсольное весло SiC

Консольное весло SiC

Политилеверная лопасть SIC SIC Vetek Seconductor используется в термообработке для обработки и вспомогательных лодок. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материала SIC обеспечивают высокую эффективность и надежность в процессе полупроводниковой обработки. Мы стремимся предоставить высококачественные продукты по конкурентоспособным ценам и с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Приглашаем вас прийти на наш завод Vetek Semiconductor, чтобы купить новейшую, недорогую и высококачественную консольную лопатку из карбида кремния. Мы надеемся на сотрудничество с вами.


Особенности консольной лопатки SiC VeTek Semiconductor:

Высокотемпературная стабильность: способен сохранять свою форму и структуру при высоких температурах, подходит для процессов высокотемпературной обработки.

Коррозионная устойчивость: превосходная коррозионная устойчивость к различным химическим веществам и газам.

Высокая прочность и жесткость: обеспечивает надежную поддержку для предотвращения деформации и повреждения.


Преимущества Vetek Semiconductor's SIC Confity Paddle:

Высокая точность: высокая точность обработки обеспечивает стабильную работу в автоматизированном оборудовании.

Низкое загрязнение: материал SiC высокой чистоты снижает риск загрязнения, что особенно важно для сверхчистых производственных сред.

Высокие механические свойства: способность выдерживать суровые рабочие условия с высокими температурами и высокими давлениями.

Конкретные применения кантилевского весла SIC и принцип его применения

Обработка кремниевых пластин в производстве полупроводников:

Кантилеверное весло SIC в основном используется для обработки и поддержки кремниевых пластин во время производства полупроводников. Эти процессы обычно включают очистку, травление, покрытие и термообработку. Принцип применения:

Обращение с кремниевыми пластинами: Консольная лопатка из карбида кремния предназначена для безопасного зажима и перемещения кремниевых пластин. Во время процессов высокотемпературной и химической обработки высокая твердость и прочность материала SiC гарантируют, что кремниевая пластина не будет повреждена или деформирована.

Процесс химического осаждения пара (CVD):

В процессе CVD консольная лопасть SiC используется для переноски кремниевых пластин, чтобы на их поверхности можно было наносить тонкие пленки. Принцип применения:

В процессе CVD консольная лопасть SiC используется для фиксации кремниевой пластины в реакционной камере, а газообразный предшественник разлагается при высокой температуре и образует тонкую пленку на поверхности кремниевой пластины. Химическая коррозионная стойкость материала SiC обеспечивает стабильную работу в условиях высоких температур и химических сред.


Параметры продукта консольной лопатки SiC

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство Типичное значение
Рабочая температура (°С) 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
SIC содержание > 99,96%
Бесплатный Si-контент <0,1%
Объемная плотность 2.60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость < 16%
Прочность на сжатие > 600 МПа
Прочность на холодный изгиб 80-90 МПа (20°С)
Горячая изгибающая сила 90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500 ° C. 4.70x10-6/°С
Теплопроводность при 1200 ° C. 23  Вт/м•К
Модуль упругости 240 GPA
Устойчивость к термическому удару Очень хорошо


Производственные цеха:

VeTek Semiconductor Production Shop


Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Горячие Теги: SIC Консольный весл
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Тел. /

    +86-18069220752

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept