SIC, покрытый кремниевым карбидом, лодка пластины

VeTek Semiconductor - китайский производитель и поставщик, который в основном производит вафельные лодочки из карбида кремния с покрытием из карбида кремния с многолетним опытом. Надеемся на установление деловых отношений с вами. Лодка для пластин из карбида кремния с покрытием SiC используется в диффузионных печах для полупроводников для перевозки пластин для различных высокотемпературных процессов, таких как ионная имплантация, диффузия и отжиг. Он может обеспечить стабильную среду для пластин, обеспечивая однородность и постоянство температуры во время обработки.

Лодочки из карбида кремния с покрытием SiC обладают более высокой термостойкостью и химической стабильностью, что позволяет им работать при более высоких температурах и обеспечивает более длительный срок службы. Кроме того, они имеют более низкую скорость испарения материала и скорость адсорбции газа, что помогает снизить влияние примесей на обработку пластин.

Мы можем изготовить различные типы карбидовых пластин -лодки, такие как лодка горизонтальной пластины, вертикальная лодка пластины и любые другие индивидуальные лодки.

Преимущества нашего карбида кремния высокой чистоты:

1. Высокая температурная стабильность

2. Химическая инертность

3. Примеси с примесей

4. Теплопроводность

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

Цех по производству полупроводников ВеТек: