От производственного процесса электростатических всасывающих чашек до производителей массового производства

Принцип DechuckЭлектростатический патронявляется ключевой частью его рабочего процесса, который включает в себя электростатическую силу устранение и механизмы высвобождения пластин. Ниже приведен подробный анализ:

Ядро ДеКхака состоит в том, чтобы устранить или нейтрализовать электростатическую силу, адсорбированную на пластине, а конкретные методы включают в себя:

Youdaoplaceholder0 отрезал власть

Прекратите применять напряжение постоянного тока к электроду, чтобы постепенно устранить электрическое поле.

Youdaoplaceholder0 обратное напряжение или инъекция газа ‌ ‌

Некоторые системы будут применять обратное напряжение или вводить инертные газы (например, он, n₂), чтобы ускорить нейтрализацию заряда или физическое разделение.

Давайте сравним профессиональные методы производства ESC и сначала посмотрим, сможет ли компания достичь такого масштаба.

Технология анализа CAE, функциональные материалы пластин, проектирование электродов, технология анализа, технология охлаждающих каналов, технология проектирования обогревателя, старший персонал в полупроводниковом оборудовании.

Японские и южнокорейские компании должны быть полностью укомплектованы таким соответствующим персоналом. Если нет, то нет необходимости говорить о технологии компании.

Технология Chuck, электроды, диски и даже принцип потока HE еще не были выяснены. Давайте сделаем грубую электростатическую всасывающую чашку. Такие компании прямо переданы. Они в основном используются, чтобы обуздать деньги инвесторов. Это основной уровень знания, как. Инвесторы также должны отказаться от компании, которая играет с карточными играми и не имеет сотрудников с более чем 10 -летним опытом работы в области травления, потому что это не компания, которая делает практические вещи.

Когда дело доходит до сжигания порошка в отрасли, все находятся в одной и той же области. У каждого есть своя уникальная формула. У кого нет силы, чтобы быть оснащенным спеченными керамическими поверхностями? Инвесторы также могут передать эти конфигурации или компании, которые не полностью их поняли, потому что их фундаментальная логика такая же: они стремятся зарабатывать деньги, а не разработать продукты.

Что касается ремонта, многие отечественные компании должны иметь соответствующие возможности для L1 до L3. Даже если возможности немного не хватает, L1 все еще может справиться с этим. Для L3 и выше, это либо не может быть отремонтировано, либо это может быть субподряд. В любом случае, все еще есть способ отремонтировать его.

Ремонт поверхности L1, улучшение шероховатости поверхности/улучшение плоскостности/регенерация ударов.

Ремонт L2: ремонт сустава, восстановление металлического основания и керамический диск/повторное заполнение сустава.

Замена керамического диска L3, производство керамического диска/восстановление металлического основания и керамического диска.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equization Equipment Technology Co., Ltd

Компания занимает лидирующую позицию в проектировании и производстве внутренних электростатических патронов и оборудования на основе электростатических патронов в качестве основной технологии. В настоящее время Haituo Innovation достигла коммерческого производства электростатических всасывающих чашек и завершила доставку от 4 до 12 дюймов с полупроводниковыми электростатическими патронами.

Пекин Хуауао Джингке Technology Co., Ltd

Электростатические всасывающие чашки, независимо разработанные компанией, соответствуют соответствующим стандартам и обработкеТребования полупроводниковой промышленности. 12-дюймовые электростатические всасывающие чашки PVD-алюминия, разработанные на ранней стадии, в определенной степени нарушили долгосрочную монополию иностранных производителей в этой области продукта. В настоящее время Huazhuo Jingke применил соответствующую технологию электростатических всасывающих чашек к производству продуктов и достиг небольшого массового производства. Это также может предоставить индивидуальные продукты для клиентов.

Основанная в 2016 году, является ведущим поставщиком передовых материалов для покрытия для полупроводниковой промышленности. Наш основатель, бывший эксперт из Китайской академии наук Института материалов, создал компанию с акцентом на разработку передовых решений для отрасли.

Наши основные предложения продуктов включают в себя покрытия из карбида кремния (SIC) кремния (SIC), карбиды тантала (TAC), объемные SIC, порошки SIC и материалы SIC с высокой точностью. Основными продуктами являются SIC, покрытый SIC Graphite Pespector, предварительные кольца, Distry Ring Coversic, полумунские детали и т. Д., Чистота ниже 5 частей на 5 чай до 5 частей на 5 чай до 5 частей на 5 чай до 5 частей на 5 чай до 5 чай до 5 частей на 5 чай до 5 чай до 5 частей на 5 чай до 5 частей.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

Продукты электростатической всасывающей чашки, разработанные им, имеют показатели производительности, которые могут соответствовать требованиям производственных предприятий. Они имеют выдающиеся свойства, такие как контролируемая температура, равномерная адсорбционная сила, без царапин или морщин во время адсорбции, и отсутствие эффекта исключения краев на пластины. Они были сертифицированы ведущими предприятиями по внутренней полупроводниковой промышленности, такими как технологии памяти Yangtze, Silan Microelectronics и инновации в Северном Китае, и достигли продаж. Он нарушил монополию иностранных производителей в этой области продукта.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

В 2022 году компания сделала стратегические шаги в области точных керамических компонентов, достигнув локализации высокотехнологических точных частей, таких как нагревающие пластины и электростатические патроны. Основные технические индикаторы керамических нагревательных пластин, разработанных Zhongci Electronics, достигли уровня аналогичных международных продуктов и были проверены пользователями. Они были применены партиями в ключевом внутреннем полупроводниковом оборудовании. Керамические нагревательные пластины были доставлены оптом, а электростатические патроны были отправлены для тестирования образцов.