Фокус кольцо для травления

Монокристаллические кремниевые кольца травления являются важными компонентами в процессах полупроводникового травления путем поддержания стабильности среды плазмы, защиты оборудования и пластин, оптимизации использования ресурсов и адаптации к расширенным требованиям к процессу. Его производительность напрямую влияет на урожайность и стоимость производства чипов.

Кольцо, электрод и т. Д. (Электрод и т. Д. (Электронный контроллер края) - основные расходные материалы, чтобы обеспечить однородность плазмы, контроль температуры и повторяемость процесса. Эти компоненты точно собираются в вакуумной камере сердечно -сосудистых заболеваний, травления и пленки и непосредственно определяют точность и выход травления от края до центра пластины.

В ответ на строгий спрос на свойства материала в высококлассных производственных процессах Veteksemi инновации в инновациях с использованием монокристаллического кремния высокой чистоты с удельным сопротивлением 10-20 Ом · см для производства фокусировки колец и поддерживающих расходных материалов. Благодаря совместной оптимизации материалов, электротехнической конструкции и термодинамики Veteksemi способен производить фокусировки колец и вспомогательные расходные материалы. Полное превзойти традиционные кварцевые решения для достижения прорывных улучшений в долговечности, точности и экономической эффективности.

Сравнение материалов и оптимизация удельного сопротивления

Монокристаллический кремний против Кварц

Основной продукт Advantage

1. Точность процесса атомного уровня

Оптимизация удельного сопротивления + Ультра-определяющая полировка (RA <0,1 мкм) устраняет микродисписание и загрязнение частиц для соответствия стандартам Semi F47.

Диэлектрические потери (TANΔ <0,001) сильно соответствуют диэлектрической среде пластины, избегая искажения к краю электрического поля и поддерживающего 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° вертикального травления глубокого отверстия.

2. Интеллектуальная совместимость системы

Интегрированный с модулем контроля температуры края и т. Д., Поток охлаждающего воздуха динамически регулируется алгоритмом термопары и ИИ для компенсации теплового дрейфа камеры.

Поддержите настраиваемую сеть радиочастотных соответствия, подходящую для основных машин, таких как источники AMAT Centura, LAM Research Kiyo и ICP/CCP Plasma.

3. Комплексная экономическая эффективность

Срок службы монокристаллического кремния на 275% длиннее, чем у кварца, цикл обслуживания составляет более 3000 часов, а комплексная стоимость владения (TCO) снижается на 30%.

Служба настройки градиента удельного сопротивления (5-100 Ом · см), точно соответствующая окну процесса клиента (например, травление материала для широкого разрыва GAN/SIC).

Эффект удельного сопротивления

Продукт коммерческие термины

Минимальное количество заказа	1 набор
Цена	Контакт для индивидуальной цитаты
Детали упаковки	Стандартный экспортный пакет
Срок поставки	Время доставки: через 30-35 дней после подтверждения заказа
Условия оплаты	T/T.
Способность снабжения	600 комплектов/месяц