Пьедестал из плавленого кварца ALD

Vetek Semiconductor Ald Fused Pedestal играет ключевую роль в процессе производства полупроводников в качестве опорной структуры длякварцевая лодка, который используется для хранениявафляПолем Пьедестал с слитым кварцами помогает достичь равномерного осаждения пленки, сохраняя стабильную температуру, которая непосредственно влияет на производительность и надежность полупроводниковых устройств. Кроме того, кварцевый постаг обеспечивает равномерное распределение тепла и света в камере процесса, тем самым улучшая общее качество процесса осаждения.

Преимущества материала постамента из плавленого кварца ALD

Высокая температурная стойкость: Точка смягчения пьедестала с плавленовым кварцевом достигает около 1730 ° C, и в течение длительного времени она может выдерживать высокую температуру от 1100 ° C до 1250 ° C и может подвергаться воздействию экстремальной температурной среды до 1450 ° C. на короткое время.

Отличная коррозионная стойкость: Плавленый кварц очень химически инертен практически ко всем кислотам, кроме плавиковой кислоты. Его кислотостойкость в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали. Плавленый кварц химически не имеет себе равных при высоких температурах, что делает его идеальным материалом для сложных химических процессов.

Термическая стабильность: Ключевой особенностью материала постамента из плавленого кварца является чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения. Это означает, что он может легко выдерживать резкие колебания температуры без растрескивания. Например, плавленый кварцевый кварц можно быстро нагреть до 1100°C и без повреждений погрузить непосредственно в холодную воду, что является важной особенностью в условиях производства с высокими нагрузками.

Строгий производственный процесс: Производственный процесс слитых пьедесталов кремнезема строго придерживается высококачественных стандартов. Производственный процесс использует процессы горячих формирования и сварки, которые обычно выполняются в среде чистой комнаты в 10 000 классов. После этого платный пьедестал из плавленого кварцевого стекла тщательно очищается с помощью ультрапирной воды (18 МОм), чтобы обеспечить чистоту продукта и оптимальную производительность. Каждый готовый продукт тщательно проверяется, очищается и упакован в класс 1000 или выше чистой комнаты, чтобы соответствовать высоким стандартам полупроводниковой промышленности.

Непрозрачный кремный кварцевый материал с высокой чистотой

Veteksemi Ald Fused Quartz Pedestal использует непрозрачный кварцевый материал с высокой чистотой для эффективного изоляции тепла и света. Его превосходные экранирующие тепловые и световые свойства позволяют ему поддерживать равномерное распределение температуры в процессовой камере, обеспечивая однородность и консистенцию тонкойнанесение пленкина поверхности пластины.

Области применения

Пьедесталы из слитых кварц широко используются во многих областях полупроводниковой промышленности из -за их превосходной производительности. Впроцесс осаждения атомного слоя (ALD), он поддерживает точный контроль роста пленки и обеспечивает развитие полупроводниковых устройств. ВПроцесс химического осаждения из паровой фазы при низком давлении (LPCVD)Термическая стабильность и светозащитная способность кварцевого пьедестала высокой чистоты обеспечивают гарантии равномерного осаждения тонких пленок, тем самым улучшая производительность и производительность устройства.

Кроме того, в процессе диффузионной пластины устойчивость к высоким температурам и химической коррозии пьедестала из плавленого кварца обеспечивают надежность и последовательность процесса легирования полупроводникового материала. Эти ключевые процессы определяют электрические характеристики полупроводниковых устройств, а высококачественные материалы из плавленого кварца играют незаменимую роль в достижении наилучших результатов этих процессов.

Магазины VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal: