Прорыв технологий карбида тантала, эпитаксиальное загрязнение SIC снизилось на 75%?

Недавно немецкий исследовательский институт Fraunhofer IISB провел прорыв в исследованиях и разработкахтехнология карбида карбида тантала, и разработал решение для покрытия спрея, которое является более гибким и экологически чистым, чем решение осаждения CVD, и было коммерциализировано.

А домашний полупроводник Vetek также совершил прорывы в этой области, пожалуйста, см. Ниже для получения подробной информации.

Fraunhofer IISB:

Разработка новой технологии покрытия TAC

5 марта, по данным СМИ »Составной полупроводник", Fraunhofer IISB разработал новыйТехнология покрытия карбида тантала (TAC)-Taccotta. Технологическая лицензия была передана в Nippon Kornmeyer Carbon Group (NKCG), а NKCG начал предоставлять графитовые детали, покрытые TAC, для своих клиентов.

Традиционным методом производства покрытий TAC в отрасли является химическое отложение паров (ССЗ), которое сталкивается с недостатками, такими как высокие затраты на производство и длительное время доставки. Кроме того, метод сердечно -сосудистых заболеваний также подвержен растрескиванию TAC во время повторного нагрева и охлаждения компонентов. Эти трещины открывают базовый графит, который с течением времени ухудшается и должен быть заменен.

Инновация в такотте заключается в том, что в нем используется метод покрытия на водной основе с последующей температурной обработкой, чтобы сформировать покрытие TAC с высокой механической стабильностью и регулируемой толщиной наГрафитный субстратПолем Толщина покрытия может быть отрегулирована от 20 микрон до 200 микрон в соответствии с различными требованиями применения.

Технология процесса TAC, разработанная Fraunhofer IISB, может регулировать необходимые свойства покрытия, такие как толщина, как показано ниже в диапазоне от 35 мкм до 110 мкм.

В частности, спрей -покрытие Taccotta также имеет следующие ключевые функции и преимущества:

● Более экологически чистый: с нагрузочным покрытием на водной основе этот метод более экологичный и прост в индустриализации;

● Гибкость: Taccotta Technology может адаптироваться к компонентам различных размеров и геометрии, позволяя частичное покрытие и реконструкцию компонентов, что невозможно при сердечно -сосудистых заболеваниях.

● Снижение загрязнения тантала: графитовые компоненты с такот -покрытием используются в эпитаксиальном производстве SIC, а загрязнение тантала уменьшается на 75% по сравнению с существующимиCVD покрытия.

● Устойчивость к износу: испытания царапин показывают, что увеличение толщины покрытия может значительно повысить устойчивость к износу.

Царапина тест

Сообщается, что технология была продвинута для коммерциализации NKCG, совместным предприятием, ориентированным на обеспечение высокопроизводительных графитовых материалов и связанных с ними продуктов. NKCG также будет участвовать в разработке технологии Taccotta в течение длительного времени в будущем. Компания начала предоставлять графитовые компоненты на основе технологии Taccotta своим клиентам.

Vetek Semiconductor продвигает локализацию TAC

В начале 2023 года Vetek Semiconductor выпустил новое поколениеSIC Crystal Growthтепловой полевой материал-пористый карбид тантала.

Согласно сообщениям, Vetek Semiconductor начал прорыв в разработкепористый карбид танталас большой пористостью через независимые технологические исследования и разработки. Его пористость может достигать 75%, достигая международного лидерства.