Силиконовая кассетная лодка

Лодочка для кремниевых кассет, предлагаемая Veteksemicon, разработана с учетом строгих термических, механических требований и требований по контролю загрязнения, предъявляемых при современном производстве полупроводниковых пластин. Изготовленная из монокристаллического или поликремния сверхвысокой чистоты и обработанная в соответствии с ведущими в отрасли стандартами чистоты, кремниевая кассетная лодочка функционирует как критически важная система-носитель для пластин, подвергающихся окислению, диффузии, отжигу и другим термическим циклам в печи. Собственные свойства его материала — химическая инертность при повышенных температурах, согласованное тепловое расширение с кремниевыми пластинами и чрезвычайно низкая концентрация металлических примесей — позволяют свести к минимуму образование частиц и термическое напряжение, обеспечивая однородность и повторяемость, необходимые для субмикронного и усовершенствованного производства.

Внутри вертикальных и горизонтальных печных платформ кремниевая кассетная лодочка обеспечивает точное расстояние между пластинами и стабильную механическую поддержку, обеспечивая равномерную передачу тепла и равномерный поток газа по всей партии. Устраняя взаимодействие материалов, обычно связанное с кварцевыми или керамическими носителями, оно помогает защитить поверхности пластин от загрязнения во время длительных выдержек при высоких температурах, даже при температурах, приближающихся к 1200°C. Такое выравнивание материала между носителем и подложкой также уменьшает линии скольжения, микротрещины и коробление, что делает лодочку особенно выгодной для таких применений, как наращивание толстого оксида, диффузия, высокотемпературный имплантационный отжиг и эпитаксиальная обработка силовых устройств.

Разработанная для полной интеграции с автоматизированными системами загрузки, модулями транспортировки FOUP-печи и роботизированной обработкой пластин, кремниевая кассетная лодка Veteksemicon поддерживает как 200-мм, так и 300-мм производственные среды и соответствует передовым спецификациям OEM-производителей печей. Высокая точность размеров, оптимизированная геометрия пазов и передовая обработка поверхности способствуют превосходной термической однородности, снижению дефектности и увеличению срока службы — факторам, которые напрямую повышают производительность процесса и время безотказной работы оборудования.

Опираясь на опыт Veteksemicon в области материаловедения и строгий контроль качества, кремниевая кассетная лодка обеспечивает стабильную работу в течение нескольких термических циклов, низкий уровень выделения частиц и предсказуемое поведение в требовательных высокотемпературных атмосферах, таких как O₂, H₂, N₂ или смеси инертных газов. Для предприятий, которым требуется улучшенный контроль загрязнения, предсказуемые температурные профили и совместимость с производством устройств нового поколения, Silicon Cassette Boat повышает надежность процесса, улучшает однородность на уровне пластин и обеспечивает стабильное производство полупроводников в больших объемах.