Диффузионная трубка из кварца высокой чистоты

Кварцевая диффузионная трубка высокой чистоты VeTek Semiconductor отличается высокой чистотой, высокой термостойкостью, высокой коррозионной стойкостью и низким коэффициентом расширения. Эти характеристики позволяют кварцевой диффузионной трубке высокой чистоты выдерживать условия процесса окислительного отжига полупроводниковых пластин без деформации или повреждений.

Кварцевая диффузионная трубка высокой чистоты VeTek Semiconductor имеет чистоту более 99,998%, что гарантирует отсутствие загрязнения пластины в процессе ее подготовки.

Применение кварцевой диффузионной трубки в процессе диффузии окисления полупроводников

Отличные тепловые характеристики нашей кварцевой диффузионной трубки высокой чистоты очень важны в процессе окисления. Кварцевая диффузионная трубка высокой чистоты выдерживает температуру до 1250°C во время термического окисления и отжига, обеспечивая плавную обработку пластин. Кроме того, изоляционные свойства и высокая термическая стойкость кварцевой диффузионной трубки высокой чистоты в конечном итоге обеспечивают постоянство обработки пластин.

Кварцевая диффузионная трубка высокой чистоты VeTek Semiconductor идеально подходит для обработки пластин.

Помимо окисления, еще одним важным процессом в производстве полупроводниковых пластин является отжиг. Нагревая пластину до определенной температуры и охлаждая ее с контролируемой скоростью в течение определенного периода времени, цель состоит в том, чтобы улучшить микроструктуру и характеристики материала. Ключом к этому процессу является точный контроль температуры: она должна быть достаточно высокой, чтобы атомы могли перестраиваться, но не слишком высокой, чтобы избежать необратимого повреждения. Время выдержки позволяет атомам в материале перемещаться и перестраиваться, что помогает устранить дефекты решетки, увеличить размер зерна и т. д. Стадия охлаждения в процессе отжига также очень важна, и скорость охлаждения может существенно повлиять на конечную кристаллическую структуру. и производительность.

Кварцевая диффузионная трубка высокой чистоты VeTek Semiconductor обеспечивает необходимую термическую стабильность для процесса отжига, позволяя пластине отжигаться равномерно. В то же время превосходная термостойкость кварцевой диффузионной трубки высокой чистоты обеспечивает ее стабильность при быстрых циклах нагрева и охлаждения во время процесса отжига пластин, что гарантирует ее срок службы и надежность в процессе отжига.

В дополнение к вышеперечисленным преимуществам, диффузионная кварцевая трубка высокой чистоты VeTek Semiconductor также обладает высокой УФ-прозрачностью. Его можно использовать для мониторинга и проверки процесса обработки пластин с помощью УФ-излучения, тем самым повышая надежность конечного полупроводникового устройства.

Фактические требования различных полупроводниковых процессов различны. Чтобы удовлетворить эти разнообразные потребности, мы всегда стремимся предоставлять клиентам специально адаптированные продукты из кварцевых диффузионных трубок высокой чистоты, отвечающие требованиям сценария использования конечного пользователя. Наши услуги по индивидуальному заказу для клиентов включают в себя различные конструкции самой кварцевой диффузионной трубки высокой чистоты, различные фланцы и другие конфигурации. Будь то небольшие исследования и разработки или крупномасштабное массовое производство, мы компетентны. С нетерпением ждем вашего запроса и установления долгосрочного партнерства с вами.

Цех производства полупроводников ВеТек：