PZT Пьезоэлектрические пластины (PZT на Si/SOI)

1. Техническая архитектура

Наши пластины имеют сложную многослойную структуру, предназначенную для обеспечения оптимальной адгезии, проводимости и пьезоэлектрического отклика во время сложной МЭМС-обработки:

 ●Верхний электрод (ключевой слой): Pt (Платина).

● Пьезослой (основной слой): ПЗТ.

● Промежуточные слои: включает буферный слой, нижний электрод и адгезионный слой для оптимизации ориентации зерен и структурной стабильности.

● Субстрат: Совместим с пластинами Si или SOI.

2. Обеспечение качества и анализ микроструктуры

Мы обеспечиваем высокую надежность благодаря строгим техническим характеристикам:

 ●СЭМ-анализ: Изображения, полученные с помощью сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), показывают плотную морфологию поверхности без трещин с равномерным распределением размеров зерен, что идеально подходит для высоконадежных приложений МЭМС.

 ●Рентгеновская характеристика: Рентгенограммы (XRD) подтверждают образование фазы чистого перовскита с сильной предпочтительной ориентацией (100), обеспечивающей максимальные коэффициенты пьезоэлектрических характеристик.

3. Технические характеристики (характеристики)

4. Основные приложения

 ● Пьезоэлектрические микромашинные ультразвуковые преобразователи (pMUT).: Высокочастотные миниатюрные матрицы для датчиков отпечатков пальцев, распознавания жестов и автомобильных ультразвуковых радаров.

 ● Общение: ключ к производству фильтров FBAR или SAW в сетях 5G/6G для достижения более широкой полосы пропускания и снижения вносимых потерь.

 ● Акустические МЭМС: Обеспечивает мощный переходный отклик для динамиков MEMS и улучшает соотношение сигнал/шум (SNR) для микрофонов MEMS.

 ● Прецизионный контроль жидкости: Высокоскоростная вибрация в режиме d31 для точного контроля объема капель в струйных печатающих головках с точностью до нанолитра.

 ● Медицина и красота (Микропампинг): Приводит в действие медицинские небулайзеры или косметические ультразвуковые насосы с высокой надежностью и компактными размерами.

5. Услуги по настройке

Помимо стандартного осаждения на кремниевые пластины, мы также предоставляем услуги по индивидуальному осаждению:

 ●Настройка пленки и толщины: Нанесение пленок определенных типов и индивидуальной толщины в соответствии с требованиями проекта.

 ●OEM литейный завод: Приемка поставляемых от заказчиков пластин для высококачественного пьезоэлектрического выращивания тонких пленок.

 ●Поддержка подложек SOI: Специализированное осаждение на пластины SOI со следующими характеристиками: