Пластины нитрида алюминия (AlN)

1. Ключевые особенности и преимущества

• Сверхширокая запрещенная зона ≈ 6,2 эВ — самая высокая среди основных полупроводниковых материалов.

• Высокая теплопроводность ≈ 320 Вт/м·К для эффективного отвода тепла.

• Отличная электроизоляция (>10¹³ Ом·см) и высокое поле пробоя (12–15 МВ/см).

• Хорошая решетка и тепловое расширение совпадают с GaN — идеально для гетероструктур GaN-на-AlN.

• Варианты с низкой плотностью дислокаций и жестким контролем кривой качания HR-XRD

• Al-face CMP (Ra ≤ 0,5 нм) и N-face MP для поверхностей, готовых к эпиляции

• Различные размеры и классы качества (P/R/D) для соответствия требованиям производства и исследований.

2. Типичные применения

• Мощные радиочастотные устройства для радаров и связи 6G

• Высоковольтная силовая электроника для сетей, центров обработки данных и электромобилей.

• Светодиоды и лазерные диоды глубокого ультрафиолета (UVC).

• Эпитаксиальный рост GaN-на-AlN и современные гетероструктурные устройства

• Полупроводниковые компоненты, работающие при высоких температурах, частотах и ​​суровых условиях эксплуатации

3. Доступные размеры и классы качества.

VeTek предлагает пластины AlN следующих стандартных форматов. Нестандартные размеры и характеристики обсуждаются по запросу.

• Квадратные подложки 10 × 10 мм

• Пластины диаметром 1 дюйм (25,4 мм)

• 2-дюймовые (50,8 мм) пластины

Классы качества: класс P (продукт), класс R (исследования), класс D (экспериментальный), различаются главным образом по кривой качания HR-XRD на полуширине и общему качеству кристаллов.

4. Основные технические характеристики

Общие параметры для всех размеров (типовые значения; зависят от марки, где указано):

Геометрические допуски в зависимости от размера:

• 10×10 мм: Длина стороны 10 мм ± 0,5 мм; ТТВ ≤ 15 мкм; Дуга ≤ 15 мкм

• 1 дюйм: диаметр 25,4 мм ± 0,5 мм; Полезная площадь ≥ 90%; ТТВ ≤ 20 мкм; Дуга ≤ 20 мкм; Первичная плоская (10-10) ± 5°, длина 8 мм ± 1 мм.

• 2 дюйма: диаметр 50,8 мм ± 0,5 мм; Полезная площадь ≥ 90%; ТТВ ≤ 30 мкм; Лук ≤ 30 мкм; Длина первичной плоскости 16 мм ± 2 мм

5. Почему стоит выбрать пластины VeTek AlN?

Являясь специализированным поставщиком современных полупроводниковых материалов и компонентов, VeTek Semiconductor предлагает:

• Высококачественные монокристаллические пластины AlN с контролируемым качеством кристаллов и поверхностью, готовой к эпиляции.

• Несколько вариантов размеров и классов для поддержки как производства устройств, так и исследовательских программ.

• Дополнительные решения для пластин и подложек из портфолио полупроводниковых материалов VeTek

• Техническая поддержка при выборе материалов и согласовании процессов

Наши пластины AlN помогают клиентам ускорить разработку мощных радиочастотных, высоковольтных оптоэлектронных устройств и устройств с глубоким УФ-излучением, которым требуется уникальное сочетание сверхширокой запрещенной зоны, высокой теплопроводности и совместимости с GaN, обеспечиваемое нитридом алюминия.