Что такое графитовая лодка PECVD?

Ⅰ. Что такое материал графитовой лодки PECVD?

Основной материалPECVD Графит лодка(Повышенная плазма химическое осаждение паров Графитовая лодка) изготовлена ​​из высокой чистотыИзотропный графитный материал(Чистота обычно составляет ≥99,999%) и модифицируется специальными процессами (например, химическое осаждение паров CVD или поверхностное покрытие). Графит высокой чистоты широко используется в системах PECVD из-за его превосходной электрической проводимости и высокой теплопроводности (80 ~ 150 Вт/м · К). ЭтотГрафитный материал высокой чистотыможет поддерживать хорошую структурную стабильность и химическую стабильность в высокотемпературных средах и может противостоять коррозии от реактивных газов и плазмы.

Ⅱ. Каковы физические свойства графитовой лодки?

Физические свойства графитовых лодок PECVD включают в себя:

● Электрическая проводимость: Изостатический графит обладает превосходной электрической проводимостью, что позволяет ему эффективно управлять электрической энергией и способствовать генерации и поддержанию плазмы во время процесса PECVD.

●  Теплопроводность: Высокая теплопроводность графита (около 80 ~ 150 Вт/м · К) помогает поддерживать стабильную температурную среду во время процесса PECVD и обеспечить равномерное осаждение тонких пленок.

●  Плотность: Плотность коммерческого поликристаллического графита колеблется от 1,30 г/см³ до 1,88 г/см сегодня. Чем выше плотность, тем лучше физические и механические свойства, которые могут улучшить срок службы продукта.

Ⅲ. Каковы преимущества графитовой лодки PECVD по сравнению с обычной графитовой лодкой?

По сравнению с обычными графитными лодками, лодки с графитом PECVD имеют следующие преимущества:

Ⅳ. Почему выбирают графитовую лодку Veteksemon's Pecvd?

Как мы все знаем, Veteksemicon является ведущим производителем и поставщиком продуктов для полупроводникового покрытия играфитовые продуктыв Китае. НашPECVD Графитовые лодкив основном используются в полупроводнике и фотоэлектрической промышленности, особенно в процессах PECVD и CVD.

Графитовые лодки обычно используются в качестве носителей для переноса кремниевых пластин или других материалов для обеспечения безопасной обработки и транспортировки этих материалов в высокотемпературных и плазменных средах. Например, в процессе производства полупроводников лодки графита PECVD VetekSemonOn предназначены для процессов осаждения химического паров в плазме. Графитовая лодка играет роль осаждения кремниевых нитридных слоев (SINₓ) пассивационных слоев и низкой диэлектрической постоянной (низкой K) пленок.

В фотоэлектрическом поле лодки графита PECVD используются для приготовления тонкопленочных солнечных элементов на основе кремния (такие как аморфные кремниевые слои A-SI: H) и Perc Cell Back Passivation. Графитовая лодка Veteksemicon PECVD оптимизирует процесс покрытия путем эффективного расстояния кремниевых пластин и вызывая светящиеся разрядки для достижения однородного осаждения покрытия.

Что еще более важно, Veteksemicon может предоставлять индивидуальные продукты и технические услуги, а также может разработать и производить продукты графитовых лодок с различными спецификациями в соответствии с вашими реальными требованиями процесса. Выбор Veteksemicon означает выбор лидера отрасли с сильной силой в полупроводнике и фотоэлектрической промышленности. Мы искренне с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером.