Как выбрать лоток с графитом MoCVD?

Вопрос 1: Что такое лоток с графитом MOCVD и почему он так важен для эпитаксиального процесса?

Графитная пластина с металлическим органическим химическим осаждением пара (MOCVD), также известная как лоток для графита MOCVD или восприимчик MOCVD, является компонентом высокой чистоты, используемой для фиксации полупроводниковых пластин во время эпитаксиального роста. В эпитаксиальном процессе он действует как нагревательный элемент и обеспечивает равномерное распределение температуры, которое играет незаменимую роль в сборе тонких пленок в таких приложениях, как усовершенствованные полупроводниковые устройства, производство светодиодов и солнечные элементы.

Подоток графита может выдерживать экстремальные температуры (до 1800 ° C) и коррозийных газовых сред, что делает его незаменимым материалом для высокотемпературных, устойчивых к коррозионной системе MoCVD. Его производительность напрямую влияет на согласованность процесса и доход в пластине.

Вопрос 2: Какие свойства материала должны быть приоритетными при выборе лотков графита MoCVD?

Выбор правильной графитной пластины требует оценки его физических и химических свойств:

● Высокая чистота (более 99,999%):

Как правило, примеси, такие как металлы или пепел, могут загрязнять эпитаксиальный процесс. Выбор поставщика графита с высокой чистотой графитом, такого как Veteksemicon, обеспечивает минимальные дефекты в эпилайере полупроводника.

●  Отличная тепловая стабильность:

Во время фактической обработки графитовые пластины должны быть в состоянии противостоять определенным тепловым ударам и поддерживать конструктивную целостность при быстрых температурных циклах. Графит высокой плотности Veteksemicon обеспечивает равномерное распределение тепла, что имеет решающее значение для равномерного роста пленки.

●  Отличная коррозионная стойкость:

В среде процесса MOCVD графит обычно подвергается воздействию коррозийных газов (например, аммиак, водород). Высокотемпературные графитовые пластины MoCVD с устойчивой к коррозии с мелкозернистой структурой сводят к минимуму коррозию и продление срока службы.

●  Высокопроизводительная механическая прочность:

В эпитаксиальном процессе лотки MOCVD графитовые лотки должны поддерживать несколько пластин без деформации. Согласно статистике Veteksemicon в фактической обработке, прочность на изгиб графитной пластины должна быть ≥50 МПа, чтобы предотвратить растрескивание подноса.

Q3: Как сценарий приложения влияет на выбор лотков с графитом MOCVD?

Различные процессы MOCVD требуют индивидуальных конструкций графитовой пластины:

●  Эпитаксиальный рост светодиода/фотоники:

Ультра-гладкие графитовые пластины MoCVD используются в процессе эпитаксии для уменьшения генерации частиц и обеспечения без дефектных слоев.

Например, veteksemicon mocvd графитовые пластины (или графитовые пластины Veteksemicon для MoCVD) предназначены для эпитаксии Gan и GaAs и обеспечивают оптимизированное тепловое управление.

●  Power Semiconductor Manufacturing:

В сочетании с экспериментальной статистикой Semikera Semiconductor пластины с повышенной устойчивостью к окислению, как правило, предпочтительнее для процессов карбида из карбида кремния (SIC) или нитрида галлия (GAN).

●  Высокопроизводительное производство:

Лотки с несколькими чаферами требуют точной обработки, чтобы соответствовать конструкции реактора. Настраиваемые графитовые лотки MOCVD от надежного поставщика Semikera Semiconductor может соответствовать конкретным конфигурациям инструментов.

Q4: Каковы ключевые соображения для поиска надежного поставщика графитовой пластины MoCVD?

●  Сертификация и тестирование:

Убедитесь, что поставщик обеспечивает сертификацию материала (например, отчет о чистоте, тест на плотность) и обеспечивает обработку поверхности после обработки (например, покрытие для снижения пористости). Как ведущий китайский производитель оборудования для получения полупроводникового покрытия и эпитаксиального процесса, правительственные департаменты Veteksemicon Mocvd были сертифицированы государственными департаментами для строгих лимических экспериментов, а результаты испытаний на чистоту и плотность ее продуктов намного опережают его сверстников.

●  Возможности настройки:

Верхние поставщики с высокой чистотой графитом должны настроить размер, шаблон отверстий и покрытие для удовлетворения ваших требований реактора. Как Veteksemicon, так и Semikera Semiconductor обладают возможностями настройки связанных продуктов и технологий, и они полностью способны удовлетворить ваши различные индивидуальные потребности.

●  Срок службы и эффективность затрат:

В то время как более дешевый графит может сэкономить первоначальные затраты, нижние графитовые пластины приведут к частой замене и простоям, серьезно влияя на нормальную эффективность производства. Выбор графитовых пластин Veteksemonon и других качественных продуктов позволит вашему бизнесу достичь долгосрочного надежного производства.

Q5: Как продлить срок службы лотков MOCVD Graphite?

●  Предотвратить окисление: Используйте продувку инертного газа во время нагрева/циклов охлаждения.

●  Чистить регулярно: Используйте неабразивные методы (такие как сухое травление) для удаления отложенных остатков.

●  Избегайте механического напряжения: Обработайте лоток во время загрузки/разгрузки пластин.

Лучший совет VetekSemicon:

Для графитовых пластин MOCVD, которые устойчивы к высокотемпературной коррозии, уделяют приоритет поставщикам с опытом в материалах полупроводникового уровня.

Тестируемые образцы в фактических условиях процесса для проверки производительности.

Изучите передовые покрытия (такие как покрытие SIC, покрытие TAC), чтобы повысить долговечность и надежность в экстремальных средах.

Для получения дополнительной информации о графитовой пластине MOCVD SIC нажмите здесь.

Для получения дополнительной информации о графитовой пластине MoCVD TAC MoCVD нажмите здесь.