Управление пластинами конечное эффектор

Эффектор обработки пластин.пластиныПолем Производственная среда пластин требует чрезвычайно высокой чистоты, потому что крошечные частицы или загрязняющие вещества могут привести к выходу из строя чипсов во время обработки. 

Керамические материалы широко используются в производстве этих рук из -за их превосходных физических и химических свойств.

Чистота и состав

Чистота глинозема обычно составляет ≥99,9%, а примеси металлов (такие как MGO, CAO, SIO₂) контролируются в пределах 0,05% до 0,8%, чтобы улучшить устойчивость к травлению в плазме.

α-фаза глинозем (структура Corundum) является основным, тип кристалла стабилен, плотность составляет 3,98 г/см сегодня, а фактическая плотность после спекания составляет 3,6 ~ 3,9 г/смЧ.

Механическое свойство

Твердость: Твердость MOHS 9 ~ 9,5, твердость Vickers 1800 ~ 2100 HV, выше, чем из нержавеющей стали и сплава.

Изгибающая сила: 300 ~ 400 МПа, что может противостоять механическому напряжению высокоскоростной обработки пластины.

Эластичный модуль: 380 ~ 400 ГПа, чтобы убедиться, что рука управления жесткой и нелегко деформировать.

Тепловые и электрические свойства

Теплопроводность: 20 ~ 30 Вт/(м · к), все еще поддерживают стабильную изоляцию (удельное сопротивление> 10⁴ ω · см).

Температурная стойкость: Долгосрочная температура может достигать 850 ~ 1300 ℃, подходящей для вакуумной высокотемпературной среды.

Характеристика поверхности

Шероховатость поверхности: RA≤ 0,2 мкм (после полировки), чтобы избежать царапин.

Вакуумная адсорбционная пористость: Полая структура, достигнутая изостатической прессой, пористость <0,5%.

Во -вторых, функции структурного дизайна

Легкая оптимизация и оптимизация прочности

Используя интегрированный процесс литья, вес составляет всего 1/3 металлического рычага, уменьшая ошибку позиционирования, вызванную инерцией.

Конечный эффектор предназначен как захватчик или вакуумный поглотитель, а поверхность контакта покрыта антистатическим покрытием, чтобы предотвратить загрязнение пластины 710 путем электростатической адсорбции.

Сопротивление загрязнения

Высокая чистота глинозем является химически инертным, не высвобождает ионы металлов и соответствует стандарту чистоты Semi F47 (загрязнение частиц <10 ч / млн).

В -третьих, требования к производству процесса

Формирование и спекание

Изостатическое прессование (давление 200 ~ 300 МПа) для обеспечения плотности материала> 99,5%.

Высокая температурная спекание (1600 ~ 1800 ℃), контроль размера зерна в 1 ~ 5 мкм, чтобы сбалансировать прочность и прочность.

Точная обработка

Обработка шлифования алмаза, точность размеров ± 0,01 мм, плоскостность ≤ 0,05 мм/м

Полукон Продукты магазины: