Высокая чистота кантилеверное весло

Высокая чистота кантилевская кассия является ключевым компонентом, используемым в оборудовании для обработки полупроводников. Продукт изготовлен из высокочистого карбида (SIC) с высокой чистотой.  Клиенты могут свободно выбирать спеченный материал SIC или материал SIC Recrystalled. С помощью его превосходных характеристик высокой чистоты, высокой тепловой стабильности и устойчивости к коррозии он широко используется в таких процессах, как передача пластины, поддержка и высокотемпературная обработка, обеспечивая надежную гарантию для обеспечения точности процесса и качества продукта.

Высокая чистота кантилеверная лопатка играет следующие конкретные роли в процессе обработки полупроводниковых обработок:

Перевод пластины: Консольное весло SIC высокой чистоты обычно используется в качестве устройства для переноса пластины в высокотемпературной диффузии или окислении печи. Его высокая твердость делает его износостойким и нелегко деформировать во время долгосрочного использования, и может гарантировать, что пластина остается точно расположенной в процессе передачи. В сочетании с высокой температурой и коррозионной стойкостью он может безопасно переносить пластины в пробирку печи и за его пределами в высоких температурных средах, не вызывая какого -либо загрязнения или повреждения пластин.

Поддержка пластины: Материал SIC имеет низкий коэффициент термического расширения, что означает, что его размер меньше изменяется при изменении температуры, что помогает поддерживать точный контроль в процессе. В процессах химического осаждения паров (CVD) или физического осаждения пара (PVD), кантилевное весло SIC используется для поддержки и исправления пластины, чтобы гарантировать, что пластина остается стабильной и плоской в ​​процессе осаждения, тем самым улучшая однородность и качество пленки.

Применение процессов высокой температуры: Cintilever Paddle обладает отличной термостабильностью и может выдерживать температуру до 1600 ° C. Следовательно, этот продукт широко используется в высокотемпературном отжиге, окислении, диффузии и других процессах.

Основные физические свойства высокой чистоты кантилев:

Высокая чистота кантилеверное весломагазины:

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике.: