Пористые керамические патроны SIC

Пористые керамические патроны SIC, предлагаемые Veteksemicon, изготовлены из пористого кремниевого карбида высокой чистоты (SIC), этот керамический патрон обеспечивает равномерный поток газа, превосходную плоскостность и тепловую стабильность в условиях высокой вакуума и температуры. Он идеально подходит для вакуумных систем зажима, где неконтактная обработка без частиц имеет решающее значение.

Ⅰ. Ключевые свойства материала и преимущества производительности

1. Отличная теплопроводность и температурная стойкость

Кремниевый карбид предлагает высокую теплопроводность (120–200 Вт/м · K) и может выдерживать рабочие температуры выше 1600 ° C, что делает патрон идеальным для травления в плазме, обработки ионного луча и высокотемпературных процессов осаждения.

Роль: обеспечивает равномерное рассеяние тепла, уменьшение боевой вафли и улучшение равномерности процесса.

2. Высшая механическая прочность и устойчивость к износу

Плотная микроструктура SIC дает ЧАК исключительную твердость (> 2000 HV) и механическую долговечность, необходимая для повторных циклов нагрузки/разгрузки пластин и суровых процессовых сред.

Роль: продлевает продолжительность жизни Чака, сохраняя при этом стабильность размеров и точность поверхности.

3. Контролируемая пористость для равномерного распределения вакуума

Тонко настроенная пористая структура керамики обеспечивает последовательное вакуумное всасывание на поверхности пластины, обеспечивая безопасное размещение пластины с минимальным загрязнением частиц.

Роль: повышает совместимость с чистыми комнатами и обеспечивает обработку пластины без повреждений.

4. Отличная химическая стойкость

Инертность SIC к коррозионным газам и плазменной среде защищает патрон от разложения во время реактивного ионного травления или химической очистки.

Роль: минимизирует время простоя и чистку, снижая эксплуатационные расходы.

Ⅱ. Службы настройки и поддержки Veteksemicon

В Veteksemicon мы предоставляем полный спектр индивидуальных услуг для удовлетворения строгих требований производителей полупроводников:

● Пользовательская геометрия и дизайн размер пор: Мы предлагаем патроны разных размеров, толщины и плотности пор, настраиваемые по спецификациям вашего оборудования и требованиям к вакууме.

● Быстрое оборотное прототипирование: Короткие сроки срока и низкая производственная поддержка MOQ для исследований и разработок и пилотных линий.

● Надежная служба после продажи: От руководства по установке до мониторинга жизненного цикла мы обеспечиваем долгосрочную стабильность производительности и техническую поддержку.

Ⅲ. Приложения

● Оборудование для обработки травления и плазмы

● Иоонная имплантация и отжигающие камеры

● Системы химической механической полировки (CMP)

● Платформы метрологии и проверки

● Системы вакуумного удержания и зажима в средах чистой комнаты

Vekekemeicon Products Shop: