Глиноземной керамический вакуумный пакет

Керамический вакуумный патрон с алюмизмом является держателем для эпитаксиальных процессов при обработке полупроводниковых. Это ключевой инструмент для стабилизации пластин и обеспечения равномерного роста эпитаксиальных слоев. Широко используется в эпитаксиальном оборудовании, таком какMocvdиLPCVD.

Vetek полупроводниковой глиноземной керамический вакуумный пакет играет жизненно важную роль в этапах истончения и измельчения пластин производства полупроводников. Эти этапы включают точно уменьшение толщиныпластина подложкаДля повышения рассеяния тепла чипа, что важно для повышения эффективности и срока службы полупроводниковых устройств.

Совместим с множеством размеров пластин: Vetek полупроводниковой глиноземной керамический вакуумный патрон предназначен для поддержки широкого спектра размеров пластин, в том числе 2, 3, 4, 5, 6, 8 и 12 дюймов. Эта адаптивность делает его подходящим для различных средств для полупроводниковых производственных средств, обеспечивая постоянную и надежную производительность в разных размерах пластин.

Верхний материальный состав: Основание глиноземного керамического вакуумного патрона изготовлена ​​из ультра-PUR₂O₃), который обеспечивает отличную устойчивость к химической атаке и тепловой стабильности. Поверхность патрона сделана из пористогокарбид кремния (sic)Полем Пористый керамический материал имеет плотную и равномерную структуру, которая повышает его долговечность и производительность.

ПреимуществаПористая керамическая технология：

Материальная чистота и долговечность: Изготовлен из 99,99% чистого глинозем, наш керамический вакуумный патрон защищает химическую атаку и предлагает превосходную тепловую стабильность, что делает его идеальным для чрезвычайно требовательных производственных сред.

Оптимальная пористость и воздухопроницаемость: Равномерно распределенные микропоры обеспечивают отличную воздушную проницаемость и равномерную адсорбционную силу, что приводит к гладкой и последовательной работе.

Повышенная плоскостность и параллелизм: Микропористые глиноземные керамические вакуумные патроны имеют превосходную плоскостность и параллелизм, обеспечивая точную обработку и стабильность пластин.

Индивидуальные возможности обслуживания: Veteksemi может предоставить различные настраиваемые формы, в том числе круглые, квадратные, кольцо и другие конструкции, с толщиной от 3 мм до 10 мм. Эта настройка гарантирует, что наши керамические вакуумные патроны с глиноземами удовлетворяют конкретные потребности различных процессов производства полупроводников и, безусловно, являются вашим идеальным выбором.

Vetek Semiconductor стремится предоставлять передовые технологии и решения для продуктов для полупроводниковой промышленности, и мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

АХимическая формулаглиноземная керамика：

Это полупроводникОшибка керамического вакуумного пакета: