Керамический электростатический патрон

Полупроводниковые производственные процессы, особенно переработка пластин, проводятся в вакуумной среде, а механические зажимы несут пластики. 

определенные риски. Когда сила сосредоточена на точке зажима, хрупкие кремниевые пластины могут пролить крошечные фрагменты, нанося серьезный ущерб производству пластин.

В этом случае керамический электростатический патрон становится лучшим выбором, который фиксирует пластину с помощью электростатической силы. Электростатическая сила действует равномерно на пластину, поэтому пластина может быть фиксирована плотно, повышая точность процесса.

Согласно соответствующим исследовательским документам, керамический электростатический патрон имеет более сильное всасывание, чем другие электростатические патроны. Например, керамический электростатический патрон имеет гораздо более сильное всасывание, чем электростатическая пленка Pet.

Керамический патрон обычно изготовлен из высокопроизводительных керамических материалов, таких как AL2O3, ALN или SIC, которые имеют высокую теплостойкость, изоляцию и коррозионную стойкость. Пористый керамический патрон SIC не только стабилен при экстремальных температурах, но также эффективно предотвращает разложение керамического электронного цикла из-за химических реагентов и травления в плазме во время производственного процесса.

Контроль температуры: Высокая теплопроводности и стабильные тепловые свойства керамических материалов позволяют керамическому вакуумному патрону с глинозмом для эффективной контроля температуры, оптимизируя тем самым распределение температуры во время процесса.

Вакуумная адаптивность: Керамический электростатический патрон подходит для вакуумной среды, особенно в процессах травления низкого давления и высокого разрешения.

Низкая генерация частиц: Пористый керамический электронный Chuck SIC имеет гладкую поверхность, которая может уменьшить загрязнение частиц во время фиксации пластины и помочь улучшить выход продукта.

Применение: в основном используется в производстве полупроводников, съемный керамический электростатический патрон, обеспечивающий точное позиционирование и стабильность, что очень полезно для литографии, травления и других процессов обработки полупроводниковых пластин. Убедитесь, что пластина не повреждена во время обработки и улучшает качество производства чипов.

Это полупроводникПроизводственные магазины керамики электронного чака: