Пористый карбид тантала: новое поколение материалов для выращивания кристаллов SiC

С постепенным массовым производством проводящих подложек SiC предъявляются более высокие требования к стабильности и повторяемости процесса. В частности, контроль дефектов, небольшие корректировки или дрейфы теплового поля в печи приведут к изменениям в кристалле или увеличению дефектов.

На более позднем этапе мы столкнемся с проблемой «расти быстрее, толще и длиннее». Помимо совершенствования теории и техники, в качестве поддержки необходимы более совершенные термополевые материалы. Используйте передовые материалы для выращивания продвинутых кристаллов.

Неправильное использование в тигле в термическом поле таких материалов, как графит, пористый графит и порошок карбида тантала, приведет к появлению таких дефектов, как повышенное содержание углеродных включений. Кроме того, в некоторых применениях проницаемости пористого графита недостаточно, и для увеличения проницаемости приходится открывать дополнительные отверстия. Пористый графит с высокой проницаемостью сталкивается с такими проблемами, как обработка, потеря порошка и травление.

Недавно Vetek Semiconductor запустил новое поколение тепловых полевых материалов SIC Crystal.пористый карбид тантала, впервые в мире.

Карбид тантала обладает высокой прочностью и твердостью, а сделать его пористым еще сложнее. Еще сложнее изготовить пористый карбид тантала с большой пористостью и высокой чистотой. VeTek Semiconductor выпустила революционный пористый карбид тантала с большой пористостью.с максимальной пористостью 75%, достигая международного ведущего уровня.

Кроме того, его можно использовать для фильтрации газовой фазы, регулировки локальных температурных градиентов, направления направления потока материала, управления утечкой и т. Д.; Его можно объединить с другим твердым карбидом тантала (плотного) или карбида карбида тантала полупроводника Vetek для формирования компонентов с различными проводимостью локального потока; Некоторые компоненты могут быть использованы повторно.

Технические параметры

Пористость ≤75% международного ведущего

Форма: Flake, цилиндрический международный лидер

Равномерная пористость

Полупроводниковый пористый карбид тантала VeTek (TaC) имеет следующие характеристики:

●   Пористость для универсального применения.

Пористая структура TaC обеспечивает многофункциональность, позволяя использовать его в специализированных сценариях, таких как:

Диффузия газа: Облегчает точное управление потоком газа в полупроводниковых процессах.

Фильтрация: Идеально подходит для сред, требующих высокоэффективного отделения твердых частиц.

Контролируемое тепловыделение: Эффективно управляет теплом в высокотемпературных системах, улучшая общую тепловую регуляцию.

●   Устойчивость к экстремально высоким температурам

Карбид тантала имеет температуру плавления около 3880°C и отлично подходит для применения при сверхвысоких температурах. Эта исключительная термостойкость обеспечивает стабильную работу в условиях, когда большинство материалов выходят из строя.

● Высокая твердость и долговечность

Занимая 9-10 место по шкале твердости Мооса, как и алмаз, Porous TaC демонстрирует беспрецедентную стойкость к механическому износу даже при экстремальных нагрузках. Такая долговечность делает его идеальным для применений, подвергающихся воздействию абразивных сред.

● Исключительная тепловая стабильность

Карбид тантала сохраняет свою структурную целостность и производительность при экстремальных температурах. Его замечательная термическая стабильность обеспечивает надежную работу в отраслях, требующих постоянства высоких температур, таких как производство полупроводников и аэрокосмическая промышленность.

●   Отличная теплопроводность

Несмотря на свою пористую природу, пористый TAC сохраняет эффективную теплопередачу, что позволяет использовать его в системах, где быстрое рассеяние тепла имеет решающее значение. Эта функция улучшает применимость материала в теплоемком процессе.

●   Низкое тепловое расширение для стабильности размеров.

Благодаря низкому коэффициенту теплового расширения карбид тантала противостоит изменениям размеров, вызванным колебаниями температуры. Это свойство сводит к минимуму термическое напряжение, продлевая срок службы компонентов и сохраняя точность в критически важных системах.

В производстве полупроводников пористый карбид тантала (TAC) играет следующие конкретные ключевые роли

● В высокотемпературных процессах, таких как травление в плазме и сердечно-сосудистые заболевания, полупроводник Vetek Пористый карбид тантала часто используется в качестве защитного покрытия для обработки оборудования. Это связано с сильной коррозионной стойкостью покрытия TAC и его высокотемпературной стабильностью. Эти свойства гарантируют, что он эффективно защищает поверхности, подвергшиеся воздействию реактивных газов или экстремальных температур, что обеспечивает нормальную реакцию высокотемпературных процессов.

● В процессах диффузии карбид пористого тантала может служить эффективным диффузионным барьером для предотвращения смешивания материалов в высокотемпературных процессах. Эта функция часто используется для управления диффузией легированных военнослужащих в таких процессах, как ионная имплантация и контроль чистоты полупроводниковых пластин.

●  Пористая структура полупроводникового карбида тантала VeTek очень подходит для сред обработки полупроводников, где требуется точный контроль потока газа или фильтрация. В этом процессе пористый TaC в основном играет роль фильтрации и распределения газа. Его химическая инертность гарантирует, что в процессе фильтрации не попадут никакие загрязнения. Это эффективно гарантирует чистоту перерабатываемого продукта.

О полупроводнике компенсации

Будучи профессиональным производителем карбида карбида в Китае, поставщика, завод, у нас есть собственная фабрика. Независимо от того, нужны ли вам индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить усовершенствованный и долговечный карбид пористого тантала, сделанный в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация оПористый карбид тантала、Пористый графит с покрытием из карбида танталаи другиеКомпоненты с покрытием из карбида танталаВ пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами.

☏☏☏Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

☏☏☏Электронная почта: anny@veteksemi.com