SIC покрыт опорное кольцо

ВеТек Полупроводник, ведущий производитель и поставщик в Китае, специализируется на производстве целого ряда продуктов, включаяSIC, покрытые покрытием кольца, CVD-кремниевые карбидные покрытия, карбиды тантала, объемные порошки SIC, порошки SIC и материалы SIC высокой чистоты. Наша посвящение заключается в том, чтобы предлагать комплексную техническую помощь и оптимальные разрешения продукта, адаптированные для полупроводникового сектора. Не стесняйтесь обращаться к нам для получения дополнительной информации и помощи.

ВеТек ПолупроводникхSIC, покрытые покрытием кольцаявляются новым поколением высокотемпературных материалов. В качестве коррозионных покрытий, устойчивых к окислению покрытий и износостойких покрытий они могут использоваться в средах выше 1650 года ℃ и широко используются в полупроводниковых полях.

Высококачественные характеристикиSIC, покрытые покрытием кольцаИграйте очень важную роль в эпитаксиальном росте полупроводниковых компонентов третьего поколения.

Поддержание однородности температуры: Кольца с покрытием SIC имеют превосходную теплопроводность и могут обеспечить равномерное распределение температуры во время эпитаксиального роста. Это помогает уменьшить тепловые градиенты и напряжения на поверхности пластины, тем самым улучшая качество эпитаксиального слоя.

Экстремальная химическая стабильность: В процессе эпитаксиального ростаSIC, покрытые покрытием кольцаспособны сопротивляться химической атаке от реакционных газов, продлевая срок службы опорных колец и поддержание целостности процесса. Эта химическая стабильность помогает снизить риск загрязнения и улучшить чистоту и производительность полупроводниковых устройств.

Точное позиционирование: Кольца с покрытием SIC способны поддерживать точное расположение пластины, что имеет решающее значение для достижения однородного отложения слоя. Это точное позиционирование помогает обеспечить согласованность толщины и качества эпитаксиального слоя.

Основные физические свойства покрытия CVD SiC:

Цех полупроводникового производства ВеТек:

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике.: