Пористый графит с покрытием из карбида тантала

Полезное карбид с полупроводниковым карбидом Vetek стал кристаллом карбида из кремниевого карбида (SIC) из -за его супер -высокой температурной устойчивости (температура плавления около 3880 ° C), превосходная тепловая стабильность, механическую прочность и химическую инертность в высокотемпературных средах. Незаменимый материал в процессе роста. В частности, его пористая структура обеспечивает много технических преимуществ дляПроцесс роста кристалловПолем 

Ниже приведен подробный анализПористый графит с покрытием из карбида танталаосновная роль:

● Повысьте эффективность потока газа и точно контролируйте параметры процесса.

Микропористая структура пористого графита может способствовать равномерному распределению реакционных газов (таких как карбидный газ и азот), тем самым оптимизируя атмосферу в зоне реакции. Эта характеристика может эффективно избежать местных проблем накопления газа или турбулентности, гарантируя, что кристаллы SIC равномерно подвергаются напряжению в процессе роста, а скорость дефекта значительно снижается. В то же время пористая структура также обеспечивает точную регулировку градиентов давления газа, еще больше оптимизирует темпы роста кристаллов и улучшая согласованность продукта.

●  Уменьшить накопление теплового напряжения и повысить целостность кристаллов

В высокотемпературных операциях упругие свойства пористого карбида тантала (TAC) значительно смягчают концентрации теплового напряжения, вызванные температурными различиями. Эта способность особенно важна при выращивании кристаллов SIC, снижая риск образования тепловых трещин, что повышает целостность кристаллической структуры и стабильности обработки.

●  Оптимизация распределения тепла и повышение эффективности использования энергии

Покрытие из карбида тантала не только придает пористому графиту более высокую теплопроводность, но его пористые характеристики также позволяют равномерно распределять тепло, обеспечивая очень равномерное распределение температуры в зоне реакции. Равномерное управление температурой является основным условием производства кристаллов SiC высокой чистоты. Это также может значительно повысить эффективность отопления, снизить потребление энергии и сделать производственный процесс более экономичным и эффективным.

●  Повышение коррозионной стойкости и продление срока службы компонентов.

Газы и побочные продукты в высокотемпературных средах (таких как водород или кремниевый пар карбид) могут вызвать серьезную коррозию для материалов. Покрытие TAC обеспечивает отличный химический барьер для пористого графита, значительно снижая скорость коррозии компонента, тем самым продлевая срок службы. Кроме того, покрытие обеспечивает долгосрочную стабильность пористой структуры, гарантируя, что свойства транспорта газа не затронуты.

●  Эффективно блокирует диффузию примесей и обеспечивает кристальную чистоту.

Графитовая матрица без покрытия может выделять следовые количества примесей, а покрытие TaC действует как изолирующий барьер, предотвращая диффузию этих примесей в кристалл SiC в высокотемпературной среде. Этот эффект экранирования имеет решающее значение для повышения кристаллической чистоты и помогает удовлетворить строгие требования полупроводниковой промышленности к высококачественным материалам SiC.

Пористовый графит с карбидом в полупроводнике Vetek значительно повышает эффективность процесса и качество кристаллов за счет оптимизации потока газа, уменьшая тепловое напряжение, улучшая тепловую однородность, повышая коррозионную устойчивость и ингибируя диффузию примесей во время процесса роста кристаллов SIC. Применение этого материала не только обеспечивает высокую точность и чистоту производства, но и значительно снижает эксплуатационные расходы, что делает его важной опорой в современном производстве полупроводников.

Что еще более важно, Veteksemi уже давно привержен предоставлению передовых технологий и решений для продуктов для производственной промышленности полупроводников и поддерживает индивидуальные услуги по пористым графитовым продуктам с карбидом тантала. Мы искренне с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Физические свойства покрытия из карбида тантала

Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Produce Production Shop