Кольцо для покрытия TAC

Кольцо покрытия TaC компании VeTek Semiconductor изготовлено из высококачественного графита и покрыто карбидом тантала (TaC), материалом, известным своими превосходными свойствами, который является незаменимым компонентом при обработке полупроводниковых пластин.

Ключевые особенности и преимущества кольца по полупроводниковому покрытию Vetek Semiconductor:

●  Высокая термическая стабильность: Одной из выдающихся особенностей карбидного кольца карбида тантала является его способность выдерживать высокие температуры, что является критическим фактором при полупроводниковом травлении. Процесс травления SIC включает воздействие повышенных температур и реактивных газов, а карбидовое покрытие тантала гарантирует, что кольцо остается стабильным и сохраняет свою структурную целостность даже в этих суровых условиях. Эта тепловая устойчивость гарантирует, что компонент продолжает оптимально работать в течение продолжительных периодов.

● Улучшенная механическая прочность: Комбинация высокопрочного графита и покрытия TaC приводит к созданию компонента с улучшенными механическими свойствами, что делает кольцо с покрытием TaC очень устойчивым к износу. Его механическая прочность имеет решающее значение для надежного удержания пластин SiC на месте, обеспечения точного травления и предотвращения любой деформации во время процесса.

● Химическая коррозионная стойкость: В полупроводнических процессах, таких как травление SIC, компоненты часто подвергаются воздействию агрессивных химических веществ и реактивных газов. Украшивание карбида тантала обеспечивает отличную защиту от коррозии, значительно продлевая срок полезного использования кольца и сводя к минимуму необходимость частых замены. Это сопротивление особенно важно в процессе травления, где компоненты находятся в постоянном контакте с химически реактивными веществами.

● Превосходное покрытие CoatiTaC для повышения производительности: Уточнение карбида тантала на графитовом кольце обеспечивает надежную поверхность, которая повышает общую производительность компонента. Карбид тантала известен своей высокой темой плавления (приблизительно 3880 ° C) и его превосходной устойчивостью к химическим реакциям, особенно в агрессивных средах, обычно встречающихся во время процессов производства полупроводников. Это карбидовое покрытие тантала значительно улучшает срок службы продукта, обеспечивая превосходную долговечность по сравнению с некированными графитовыми кольцами.

● Улучшенная механическая прочность: Комбинация высокопрочного графита и покрытия TaC приводит к созданию компонента с улучшенными механическими свойствами, что делает кольцо с покрытием TaC очень устойчивым к износу. Его механическая прочность имеет решающее значение для надежного удержания пластин SiC на месте, обеспечения точного травления и предотвращения любой деформации во время процесса.

Как ведущий поставщик кольцевого кольца TAC, производитель и завод в Китае, Vetek Semiconductor уже давно привержен предоставлению расширенных продуктов для кольцевого покрытия TAC и технических решений для полупроводниковой обработки и поддерживает индивидуальные услуги продукции. Veteksemi искренне с нетерпением ждет возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Физические свойства покрытия TAC

Vetek Semiconductor