Применение кварцевых компонентов в полупроводниковом оборудовании

Кварцевые продуктышироко используются в процессе производства полупроводников из-за их высокой чистоты, высокотемпературной устойчивости и сильной химической стабильности.

1. Крайтц тигб

Применение - оно используется для привлечения монокристаллических кремниевых стержней и является основным расходным материалом в производстве кремниевых пластин.

Кварцевые крестикиизготовлены из кварцевого песка с высокой чистотой (4N8 и выше), чтобы уменьшить загрязнение металлическими примесями. Он должен обладать высокотемпературной стабильностью (температура плавления> 1700 ° C) и низкий коэффициент термического расширения. Кварцевые крестики в полупроводниковом поле используются в основном для производства кремниевых монокристаллов. Они представляют собой потребляемые кварцевые контейнеры для погрузки поликристаллического кремниевого сырья и могут быть разделены на квадратные и круглые типы. Квадратные используются для литья поликристаллических слитков кремния, в то время как круглые используются для рисунка монокристаллических кремниевых стержней. Он может выдерживать высокие температуры и поддерживать химическую стабильность, обеспечивая чистоту и качество кремниевых монокристаллов.

2. Кварцевые печи трубки

Кварцевые трубкишироко используются в полупроводниковой промышленности из-за их характеристик, таких как устойчивость к высокотемпературе (долгосрочная рабочая температура может достигать 1100 ° C), устойчивость к химической коррозии (стабильная, за исключением нескольких реагентов, таких как гидрофлуорическая кислота), высокая чистота (содержание примеси может быть такими же, как и PPM или даже уровень PPB) и превосходное светоображение (особенно в зависимости от ультравет-элиол. Основные сценарии сконцентрированы в нескольких ключевых обрабатываниях производства пластин.

Основные ссылки на приложения:Диффузия, окисление, сердечно -сосудистые заболевания (химическое осаждение пары)

Цель:

• Диффузионная трубка: используется в высокотемпературных процессах диффузии, она несет кремниевые пластины для легирования.
• Трубка для печи: поддерживает кварцевые лодки в окислительной печи для высокотемпературной окисления.

Функции:

Он должен соответствовать требованиям высокой чистоты (ион металла ≤1ple) и высокотемпературной устойчивости деформации (выше 1200 ° C).

3. Кварцевая хрустальная лодка

В зависимости от различного оборудования он разделен на вертикальные и горизонтальные типы. В зависимости от различных производственных линий FAB, диапазон размеров составляет от 4 до 12 дюймов. В производстве полупроводниковых ICS,Кварцевые кристаллические лодкив основном используются в процессах передачи пластин, очистки и обработки. В качестве высокоточной и высокотемпературной стойки пластин, они играют незаменимую роль. В процессе диффузии или окисления пробирки печи помещаются несколько пластиков на кварцевые кристаллические лодки, а затем проталкивают в трубку печи для производства партии.

Инжекторы в полупроводниках в основном используются для точного транспортировки газовых или жидких материалов и применяются в нескольких ключевых процессах, таких как осаждение тонкого пленки, травление и допинг.

В процессе очистки кремниевых транзисторов и производства интегрированных цепи он используется для переноса кремниевых пластин и необходимо быть устойчивыми к кислоте и щелочи, чтобы гарантировать, что кремниевые пластины не загрязнены в процессе очистки.

6. Кварцевые фланцы, кварцевые кольца, фокусирующие кольца и т. Д.

Он используется в процессах полупроводникового травления, в сочетании с другими кварцевыми продуктами для достижения герметичной защиты полости, окружающей пластин, предотвращая различные типы загрязнения во время процесса производства травления и играющую защитную роль.

Кварц колокольчикиявляются ключевыми компонентами, обычно используемыми в полупроводниковой промышленности с высокой температурной сопротивлением, коррозионной стойкостью и высокой световой пропускной способностью. Полизиликон уменьшает крышку печи: крышка кварцевого колокола в основном используется в качестве редуктора для крышки печи для полисиликона. При производстве полисиликона трихлорзилан высокой чистоты смешивается с водородом в определенной пропорции, а затем вводится в восстановительную печь, оборудованную кварцевым колокольчиком, где реакция восстановления происходит на проводящем кремниевом ядре для отложения и формирования полисиликона.

8. Кварц мокрый чистящий бак

Стадия нанесения: влажная очистка кремниевых пластин

Использование: он используется для промывки кислоты (HF, H₂SO₄ и т. Д.) И ультразвуковой чистки.

Особенности: сильная химическая стабильность и устойчивость к сильной кислотной коррозии.

9. Кварцевая жидкая сбора бутылки

Бутылка сбора жидкости в основном используется для сбора отходов или остаточной жидкости в процессе влажной очистки

Во время процесса влажной очистки пластин (таких как очистка RCA, очистка SC1/SC2) необходимо для промывки вафей, и после полоскания будет получена остаточная жидкость, содержащая следовые примеси. После некоторых процессов покрытия (таких как фоторезистское покрытие), также необходимо собирать избыточные жидкости (такие как фоторезистские отходы), которые необходимо собрать.

Функциональные кварцевые сборы жидкости используются для тщательного сбора этих остаточных или отработанных жидкостей, особенно на «стадии высокой очистки» (например, стадией предварительной обработки поверхности пластины), где остаточная жидкость может по-прежнему содержать небольшое количество высокоценных реагентов или примесей, которые нуждаются в существующем анализе. Низкое загрязнение кварцевых бутылок может предотвратить повторное загрязнение остаточной жидкости, способствуя последующему восстановлению (например, очистке реагентов) или точное обнаружение (например, анализ содержания примесей в остаточной жидкости).

Кроме того, кварцевые маски, изготовленные из синтетических кварцевых материалов, применяются в фотолитографии как «негативы» фотолитографических машин для переноса рисунка. И кварцевые кристаллические генераторы, используемые в тонкопленке (PVD, CVD, ALD) для мониторинга толщины тонкой пленки и обеспечения однородности осаждения, среди многих других аспектов, не разработаны в этой статье.

В заключение, кварцевые продукты практически присутствуют на протяжении всего процесса производства полупроводников, от роста монокристаллического кремния (кварцевых крестиков) до фотолитографии (кварцевые маски), травление (кварцевые кольца) и тонких пленки (кварцевые кристаллические осцилляторы), все из которых лежат на их превосходных физических и химических достоинствах. Благодаря развитию полупроводниковых процессов требования к чистоте, температурной устойчивости и размерной точности кварцевых материалов будут дополнительно повышены.