PECVD Графит лодка

Veteksemicon - это профессиональный производитель и поставщик Graphite Boat в Китае.

Какова роль солнечной батареи Vetek Semiconductor (покрытие) PECVD Graphite Boat?

В качестве носителя нормальных кремниевых пластин, производимых процессом покрытия, на графитовой лодке есть много лодочных пластин с определенными интервалами в структуре, и между двумя соседними лодочными пластинами есть очень узкое пространство, а кремниевые пластины расположены с обеих сторон пустой двери.

Поскольку графит материала Graphite Boat PECVD обладает хорошими электрическими и теплопроводительными свойствами, напряжение переменного тока задается в двух соседних лодках, так что две соседние лодки образуют положительные и отрицательные полюсы, когда в камере наблюдается определенное давление и газ, между двумя лодками возникает сияние, светящиеся выпуск могут разпоставить SIH4 и nh3 -газ в пространстве, и NO -of SI. Молекулы SINX образуются и осаждаются на поверхности кремниевой пластины для достижения цели покрытия.

Графитовые лодки PECVD обычно используются в качестве носителей для переноса кремниевых пластин или других материалов для обеспечения безопасной обработки и транспортировки этих материалов в высокой температуре и плазменной среде. Например, в процессе производства полупроводников лодки графита PECVD VetekSemonOn предназначены для процессов осаждения химического паров в плазме. Графитовая лодка играет роль осаждения кремниевых нитридных слоев (SINₓ) пассивационных слоев и низкой диэлектрической постоянной (низкой K) пленок.

В фотоэлектрическом поле лодки графита PECVD используются для приготовления тонкопленочных солнечных элементов на основе кремния (такие как аморфные кремниевые слои A-SI: H) и Perc Cell Back Passivation. Графитовая лодка Veteksemicon PECVD оптимизирует процесс покрытия путем эффективного расстояния кремниевых пластин и вызывая светящиеся разрядки для достижения однородного осаждения покрытия.

Что еще более важно, Veteksemicon может предоставлять индивидуальные продукты и технические услуги, а также может разработать и производить продукты графитовых лодок с различными спецификациями в соответствии с вашими реальными требованиями процесса. Мы искренне с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером.

И Преимущества графитовой лодки PECVD по сравнению с обычной графитовой лодкой, просто нажмите