Кварцевая трубка для диффузионной печи

1. Ключевые особенности и преимущества

• Дегидроксилированный плавленый кварц сверхвысокой чистоты (SiO₂ ≥ 99,999%) с контролируемыми уровнями примесей металлов на уровне частей на миллиард и чрезвычайно низким содержанием гидроксила.

• Длительная рабочая температура до 1100°С; кратковременное пиковое сопротивление до 1200 °C

• Превосходная термостойкость после полного отжига для снятия напряжений — устойчивость к растрескиванию при резких изменениях температуры.

• Выдающаяся химическая инертность по отношению к окислительным, восстановительным и галогеносодержащим технологическим газам; подходит для плазменной и агрессивной атмосферы

• Очень низкая вакуумная дегазация; гладкая внутренняя стенка сводит к минимуму накопление побочных продуктов и обеспечивает повторяемость процесса

• Цельная формовка с одинаковой толщиной стенок, высокой соосностью и прецизионно обработанными концами для надежного уплотнения.

• Настраиваемые конструкции: прямые трубы, переходные трубы, фланцевые трубы, увеличенная длина и специальные конфигурации концов для вертикальных или горизонтальных печей.

2. Типичные применения

Кварцевые печные трубы VeTek широко используются в качестве основной реакционной камеры в:

• Печи термического окисления (сухое/мокрое окисление)

• Диффузионные печи для введения легирующих примесей (Б, Р, As и т.д.)

• Системы LPCVD для нанесения тонких пленок

• Вакуумный отжиг и другие процессы высокотемпературной термообработки.

• Совместимость с 4-дюймовыми, 6-дюймовыми, 8-дюймовыми и 12-дюймовыми пластинами (подложки Si, SiC, GaN, сапфир).

Они поддерживают линии по производству логики, памяти, силовых устройств, микроконтроллеров, светодиодов, МЭМС и широкозонных полупроводников, для которых требуется стабильная однородность температуры, контроль потока газа и сверхчистая технологическая среда.

3. Ключевые технические параметры

• Материал: дегидроксилированный плавленый кварц полупроводникового качества (SiO₂ ≥ 99,999%), с низким содержанием гидроксила, низким содержанием металлических примесей.

• Совместимость с пластинами: 4/6/8/12 дюймов.

• Длительная рабочая температура: от −20°С до 1100°С; кратковременный пик до 1200 °C

• Процесс: термическое формование цельной детали, гомогенизация стенок, обработка торцов, отжиг для снятия напряжений, испытание на утечку гелием, сверхчистая очистка.

• Доступные конструкции: прямая трубка, переходная трубка, фланцевая трубка, удлиненная трубка/трубка нестандартной длины, конфигурации со специальными концами.

• Настройка: внутренний/внешний диаметр, длина, толщина стенки, характеристики фланцев и специальная геометрия по чертежам заказчика.

4. Почему стоит выбрать кварцевые печи VeTek?

Как профессиональный производитель полупроводниковых кварцевых компонентов, VeTek Semiconductor предлагает:

• Кварцевые печные трубы высокой чистоты, предназначенные для оборудования для окисления, диффузии, LPCVD и отжига.

• Строгий контроль чистоты, точность размеров и чистота, подходящие для производства в чистых помещениях класса 10/100.

• Полная индивидуализация и OEM-совместимость конструкций для вертикальных и горизонтальных трубчатых печей.

• Дополнительные полупроводниковые кварцевые изделия, включая пластинчатые лодочки, тигли, лайнеры и другие технологические компоненты.

Наши кварцевые печные трубы помогают поддерживать стабильные температурные и газовые условия, минимизировать загрязнение частицами и металлами, а также продлевать срок службы при непрерывном циклическом высокотемпературном цикле, обеспечивая более высокую производительность и более низкую стоимость владения при термической обработке полупроводников.